Известны радиационные сушилки для полупроводниковых изделий, содержащие камеру, разделенную светофильтром на отсеки, один из которых оборудован инфракрасными излучателями, а другой подключен к вакуумному насосу и снабжен загрузочным люком с герметичной крышкой.
Предлагаемая сушилка позволяет повысить качество сушки.
Ее особенность заключается в том, что на крышке с внутренней стороны шарнирно укреплена рама с натянутой на нее пленкой из малотеплопроводного материала, например фторопласта, для размещения высушиваемых изделий.
На чертеже изображена описываемая радиационная сушилка.
Сушилка содержит камеру, разделенную светофильтром 1 на отсеки. Отсек 2 оборудован инфракрасными излучателями 3 с отражателями 4, а отсек 5 подключен к вакуумному насосу (на чертеже не показан) и снабжен загрузочным люком 6 с герметичной крышкой 7. На крышке с помощью шарнира 8 укреплена рама 9 с натянутой на нее пленкой 10, на которой размещены высушиваемые изделия 11. Пленка выполнена из малотеплопроводного и малотеплоемкого материала, например фторопласта. Размещение изделий на пленке исключает контактный нагрев, повышается равномерность облучения и предотвращается брак высушиваемых изделий.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Радиационная сушилка | 1981 |
|
SU989275A1 |
| ТЕРМОРАДИАЦИОННАЯ РОТОРНАЯ СУШИЛКА | 1992 |
|
RU2053471C1 |
| Энергоэффективная система для глубокой переработки растительного сырья с тепловыми аккумуляторами и электронагревателями | 2021 |
|
RU2771723C1 |
| Энергоэффективная конвективно-вакуум-импульсная сушильная установка с тепловыми аккумуляторами | 2019 |
|
RU2716056C1 |
| Способ и устройство для низкотемпературной вакуумной сушки измельченных продуктов животного и растительного происхождения | 2021 |
|
RU2773934C1 |
| СУШИЛЬНАЯ УСТАНОВКА С ТЕПЛОВЫМИ АККУМУЛЯТОРАМИ ДЛЯ РАСТИТЕЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ | 2016 |
|
RU2657067C2 |
| Сушилка | 1984 |
|
SU1196642A2 |
| Пленочная сушильная установка | 1990 |
|
SU1784164A1 |
| Устройство для термической обработки древесины | 2018 |
|
RU2694109C1 |
| СУБЛИМАТОР С СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫМ ГЕНЕРАТОРОМ ДЛЯ СУШКИ ЗАМОРОЖЕННОЙ ПРОДУКЦИИ | 2014 |
|
RU2565227C1 |
Радиационная сушилка для полупроводниковых изделий, содержащая камеру, разделенную светофильтром на отсеки, один из которых оборудован инфракрасными излучателями, а другой подключен к вакуумному насосу и снабжен загрузочным люком с герметичной крышкой, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества сушки, на крышке с внутренней стороны шарнирно укреплена рама с натянутой на нее пленкой из малотеплопроводного материала, например фторопласта, для размещения высушиваемых изделий.
