Известны защитные устройства для предотвращения попадания паров рабочего вещества из диффузионного насоса в откачиваемый объем, содержащие корпус и размещенные в нем ловушку в виде охлаждаемого, например жидким азотом, двухстенного цилиндра с отверстием для прохода откачиваемых газов и вакуумный вентиль с клапаном, герметично отделяющим насос от откачиваемого объема.
В предлагаемом устройстве вентиль размещен в свободном пространстве ловушки, и для компактности устройства его клапан установлен с возможностью перемещения по осевой направляющей. Ловушка и вентиль снабжены индивидуальными фланцами для крепления их в корпусе, что позволяет упростить конструкцию устройства и обеспечить возможность очистки его рабочих поверхностей без разборки всей, вакуумной системы.
На чертеже изображено описываемое устройство в продольном разрезе и вид по стрелке А.
В корпусе 1 устройства размещена ловушка 2 в виде двухстенного цилиндра, охлаждаемого жидким азотом и имеющего отверстие, перекрытое шевронными жалюзи 3, для прохода откачиваемых газов. В свободном пространстве ловушки расположен вакуумный вентиль 4 с тарельчатым клапаном 5, перемещающимся по осевой направляющей 6, обеспечивающей точное совмещение уплотняющих поверхностей клапана и седла 7 для герметичного отделения насоса от откачиваемого объема.
К диффузионному насосу устройство крепится при помощи фланца 8, а к объему - при помощи фланца 9, на котором укреплено антимиграционное устройство 10 в виде набора колец из листовой меди.
Для свободного доступа к внутренним поверхностям устройства вентиль и ловушка снабжены индивидуальными фланцами 11 и 12 для их крепления в корпусе. В местах соединения узлов устройства предусмотрены уплотнительные прокладки 13, 14, 15 и 16, которые могут быть изготовлены из вакуумной резины, фторопласта и т.п. материалов. Положение осевой направляющей 6 фиксируется при помощи ребер 17.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Вакуумная система течеискателя | 1991 |
|
SU1779961A1 |
| Многорядное соединение деталей | 1991 |
|
SU1779818A1 |
| Диффузионный вакуумный насос | 1980 |
|
SU889901A1 |
| СПОСОБ СБОРА РТУТИ В ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ КАМЕРЕ УСТАНОВКИ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ И УСТАНОВКА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1993 |
|
RU2071985C1 |
| Высоковакуумная система промышленных и лабораторных установок | 2022 |
|
RU2789162C1 |
| Вакуумная система течеискателя | 1985 |
|
SU1307264A1 |
| СИСТЕМА ЛОКАЛЬНОГО ХРАНЕНИЯ СЖИЖЕННОГО ПРИРОДНОГО ГАЗА С ИЗМЕНЯЮЩИМСЯ ОБЪЕМОМ | 2020 |
|
RU2777177C2 |
| УСТАНОВКА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ РАБОТОСПОСОБНОСТИ ГЕРМЕТИЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ КОНСТРУКЦИИ СИСТЕМ КОСМИЧЕСКИХ АППАРАТОВ | 2005 |
|
RU2279044C1 |
| Криогенный двухступенчатый вакуумный насос | 1977 |
|
SU691600A1 |
| Криоадсорбционный насос | 1988 |
|
SU1682628A1 |
1. Защитное устройство для предотвращения попадания паров рабочего вещества из диффузионного насоса в откачиваемый объем, содержащее корпус и размещенные в нем ловушку в виде охлаждаемого например, жидким азотом, двухстенного цилиндра с отверстием для прохода откачиваемых газов и вакуумный вентиль с клапаном, герметично отделяющим насос от откачиваемого объема, отличающееся тем, что, с целью повышения компактности, вентиль размещен в свободном пространстве ловушки, и его клапан установлен с возможностью перемещения по осевой направляющей с тем, чтобы обеспечить плотное прилегание клапана к седлу.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, ловушка и вентиль снабжены индивидуальными фланцами для крепления их в корпусе.
