Вакуумная система течеискателя Советский патент 1987 года по МПК G01M3/02 

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к конструкции масс-спектрометрических течеиска- телей.

Целью изобретения является стабилизация вакуума системы путем создания равномерного температурного поля вокруг корпуса диффузионного насоса.

На чертеже представлена схема данной системы.

Вакуумная система течеискателя содержит масс-спектрометрическую камеру 1, размещенную между полюсами магнита 2 и соединенную через вентиль 3 с азотной ловушкой 4, «оторая через вентиль 5 соединяется с испытательной камерой. Через вентиль 6 к ловушке 4 присоединена контрольная течь 7 и через дросселирующий вентиль 8 - диффузионный насос 9, установленный на верхней 10 вакуумной камеры 11. Боковая поверхность насоса 9 охвачена герметичным кожухом 12, соединенным с системой охлаждения, вьтолненной в виде вентилятора 13. Электронагреватель 14 нижней части насоса 9 запитывается через герморазъем 15. На нижней крьш1ке 16 вакуумной камеры 11 установлен механический насос 17 с электродвигателем 18, вход которого соединен с вентилем 19, а выход - с вентилем 20. На крьшзке 16 размещен датчик 21 вакуума для автоматического отключения электродвигателя 18. ,

Вакуумная система работает следующим образом.

После открытия вентиля 20, включения двигателя 18, насоса 17 и открытия вентиля 19 в вакуумной камере 11 и сообщенной с ней диффузионном насосе 9 создается разрежение порядка 10 мм рт.ст., регистрируемое датчиком 21 вакуума. Затем включается вентилятор 13 и нагреватель 14 диффузионного насоса 9. Открывают вентили 3 и 8 и откачивают всю вакуумную систему течеискателя до за-: данного давления. При этом механический насос 17 работает в режиме периодического включения от соединен

ного с датчиком 21 вакуума реле блокировки по уровню вакуума в вакуумной камере 11. После выхода на режим диффузионного насоса 9 и залива жидкого азота в ловушку 4 течеис- катель может быть использован для контроля герметичности изделий.

Размещение неохлаждаемой нагреваемой части диффузионного насоса 9 в вакуумной камере I1 позволяет исключить воздействие нерегулируемых температурных изменений внешней среды и стабилизировать гидродинамические характеристики насоса 9, так как пр и изменении температуры воздуха можно менять расход охлаждающего воздуха через кожух 12, а дно насоса 9 изолировано от внешней среды. Одновременно камера 11 сообщает выход диффузионного насоса 9 с входом механического насоса 17, и последний может. работать в режиме периодического включения.

При соотношении объема вакуумной камеры 11 и откачной системы, равном 10, энергозатраты сокращаются в 2 раза, кроме того, снижается уровень шума.

Формула изобретения

40

Вакуумная система течеискателя, содержащая маес-спектрометрическую

35 камеру, последовательно соединенные с ней азотную ловушку, дросселирующий вентиль, диффузионный и механический насосы, систему охлаждения диффузионного насоса, отличающаяся тем, что, с целью стабилизации вакуума, она снабжена герметичным кожухом, охватываюпщм боковую поверхность диффузионного насоса и соединенным с системой воздущного

5 охлаждения, вакуумной камерой, в которой размещены неохлаждаемая нагреваемая часть диффузионного насоса и механический насос, выходной патрубок диффузионного насоса и входной

50 патрубок механического насоса сооб- дены с полостью вакуумной камеры.

Изобретение относится к конструкциям масс-спектрометрических те- чеискателей и позволяет обеспечить стабилизацию вакуума в системе путем создания вокруг корпуса диффузионного насоса равномерного температурного поля. Вакуумная система содержит последовательно соединенные масс- спектрометрическую камеру 1, азотную ловушку 4, дросселирующий вентиль 8, диффузионный насос 9 и механический насос 17. Неохлаждаемая нагреваемая часть диффузионного насоса 9 и механический насос размещены в вакуумной камере 11. Диффузионный насос 9 снабжен герметичным кожухом 12. Выходной патрубок диффузионного насоса 9 и входной патрубок механического насоса 17 сообщены с вакуумной камерой 11. 1 ил. СЛ L -. П I J IU rx:i CO о 1 to O5 4