По основному авт. св. №183846 известен электронный микроскоп, узел изображения которого содержит расположенные на оптической оси конденсор, иммерсионный объектив и камеру объектов. Для повышения контрастности конечного изображения без потери яркости и дополнительных искажений в этом узле формирования изображения имеется система электродов, замедляющая электроны луча перед исследуемым объектом и вновь ускоряющая эти электроны после их прохождения через объект.
В первоначальном варианте электронного микроскопа с промежуточным замедлением электронов узел формирования изображения был осуществлен на базе электростатической объективной системы.
Предлагаются варианты электронного микроскопа с промежуточным замедлением электронов, в которых узлы формирования изображения осуществлены на базе электромагнитной или магнитостатической объективной системы.
На фиг. 1 приведена схема узла формирования изображения, осуществленного на базе электромагнитной объективной системы; на фиг. 2 - схема аналогичного узла, осуществленного на базе магнитостатической объективной системы.
В объективные полюсные наконечники 1 вставлено устройство, обеспечивающее замедление электронов в районе объекта - объективных полюсных наконечников. Оно состоит из изолирующей втулки 2, которая изолирует внутреннюю 3 и наружную 4 втулки из немагнитного металла. Внутренняя втулка 3 заканчивается сверху камерой с предметным столиком 5. Патрончик с объектом 6 находится под потенциалом втулки 3, на которую через высоковольтный ввод 7 подается высокое напряжение с делителя ускоряющего напряжения 8. Объективная диафрагма 9 также находится под потенциалом электрода. Скорость электронов внутри втулки 3 регулируется изменением ее потенциала. Замедляющая линза 10 используется как составляющая осветительной системы, а ускоряющая линза 11 - как промежуточная или проекционная линза. Фокусировка изображения объекта производится изменением возбуждения объектива.
Полюсные наконечники 12 с помощью втулки 13 изолированы от тела линзы. На них через высоковольтный ввод подается замедляющее напряжение. Объект 14 и аппаратурная диафрагма 15 находятся под тем же потенциалом, что и полюсные наконечники 12. Замедляющая и ускоряющая линзы, образованные гильзой полюсных наконечников 16 и заземленными электродами 17 и 18, действуют как конденсор и промежуточная линза соответственно.
Способ промежуточного замедления электронов может быть также осуществлен путем подачи замедляющего напряжения на электрически изолированную от колонны микроскопа объективную линзу. Микроскоп позволяет проводить исследования малоконтрастных объектов при пониженных потенциалах пучка, причем электроны имеют пониженную скорость только в районе объекта, что позволяет исключить характерные для низковольтных микроскопов нежелательные явления.
1. Электронный микроскоп по авт. св. №183846, отличающийся тем, что, с целью повышения его разрешающей силы, узел формирования изображения выполнен на базе электромагнитной или магнитостатической объективной системы, в которую встроены электроды, обеспечивающие замедление электронов перед исследуемым объектом и последующее ускорение этих электронов после их прохождения через объект.
2. Микроскоп по п. 1, отличающийся тем, что электрод, поле которого замедляет электроны перед объектом, выполнен в виде тела вращения, верхний конец которого вместе с помещенной над ним диафрагмой образует электростатическую конденсорную линзу, а нижний конец вместе со второй диафрагмой или с краями корпуса магнитной линзы - промежуточную электростатическую проекционную линзу.
3. Микроскоп по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что в нем изолированы от корпуса колонны микроскопа не только электрод, но и полюсные наконечники магнитной линзы-объектива или вся эта линза в целом.
