УСТРОЙСТВО для НЕПРЕРЫВНОГО КОНТРОЛЯ и РЕГУЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК Советский патент 1969 года по МПК G01B9/00 

Известны устройства для непрерывного контроля процесса напыления пленок, содержащие заключенные в камеру напылптели, контрольный образец, экран и фотометрическую измерительную систему. Известные устройства не обеспечивают высокой точности контроля процесса напыления пленок.

Предлагаемое устройство для новышения точности контроля снабжено расположенным над контрольным образцом эталонным образцом в виде вращающегося прозрачного диска, связанного с датчиком углового перемещения, и фотометрической измерительной системой, содержащей механический модулятор и образующую два параллельных световых луча диафрагму.

На чертеже показана принципиальная схема устройства.

Устройство для непрерывного контроля и регулирования процесса напыления пленок состоит из заключенных в камеру / напылителей 2, контрольного образца 3, экрана 4 и обрабатываемых деталей 5, эталонного образца 6, вращающегося от реверсивного электродвигателя 7, на валу которого установлен потгнциометр 8, подающий выходной сигнал на усилитель 9, и фотометрической измерительной системы, содержащей источник света 10, объектив 11, диафрагму 12, механический модулятор 13, призму 14, а также объектив 15

фотодиода 16 и подающего сигнал на электродвигатель 7 усилителя 17.

Непрерывный контроль и регулирование процесса напыления пленок происходит следующим образом.

В камере / напылителями 2 наносится пленка на обрабатываемые детали 5 и одновременно через экран 4 на контрольный вращающийся образец 3. Источник света 10 через объектнв /) и диафрагму 12 направляет два параллельных световых луча на эталонный образец 6, модулируемых с частотой 50 гц механическим модулятором 13. Один из лучей проходит через прозрачную часть эталонного образца 6,

напыленпую часть контрольного образца 3, призму 14, объектив 15 на фотодиод 16, а другой луч проходит через напыленную часть эталонного образца 6, прозрачную часть контрольного образца 3, призму 14, объектив 15

па тот же фотодиод 16. При эдентичиости наносимой и эталонной пленок сигнал на выходе фотодиода 16 равен нулю. При разбалансе между контрольным и эталонным сигналами сигнал разбаланса через усилитель 17 подается на электродвигатель 7, поворачивающий эталонный образец до тех пор, пока сигнал не будет равен нулю. Таким образом, угол поворота эталонного образца 6, который фиксируется патенциометром 8, пропорциопаЦ -1рующую цепь и усилитель 9, можио не только осуществить измерение скорости, ио и ее регулирование, иодавая уиравляющий сигиал на нагревательный элемент, наиылителя 2.

Предмет изобретения

Устройство для непрерывного контроля и регулирования процесса напыления нленок, включающее заключенные в камеру напылители, контрольный образец, экран и фотометрическую измерительную систему, отличающееся тем, что, с целью гювыщения точности контроля, оно сиабжеио расположенным над контрольным образцом эталонным образцом в виде вращающегося прозрачного диска, связанного с датчиком углового перемещения, и фотометрической измерительной системой, содержащей механический модулятор и образующую два параллельных световых луча диафрагму.