УСТРОЙСТВО для КОНТРОЛЯ толщины НАПЫЛЯЕМЫХПЛЕНОК Советский патент 1972 года по МПК G01B11/06 

Известны устройства для контроля толщины напыляемых пленок, состоящие из камеры с напылителями внутри нее и фотометрической измерительной системы.

Известные устройства контролируют толщину только прозрачных пленок.

Предлагаемое устройство позволяет контролировать толщину пленок как прозрачных, так и непрозрачных. Оно отличается тем, что камера снабжена экраном с регулируемой щелью, против которой установлен вращающийся прозрачный диск с напыляемой через щель контрольной пленкой.

Сущность изобретения поясняется чертежом.

Устройство состоит из фотометрической измерительной системы / и камеры 2 со смотровым окном 3. Внутри камеры напротив напылителей 4 расположены обрабатываемые детали 5, неподвижный экран 6 с регулируемой щелью 7, над которым закреплены вращающийся диск 8, призма 9 закрыта экраном 10.

Устройство работает следующим образом.

Напылители 4 наносят пленку на обрабатываемые детали 5 и одновременно через щель 7 экрана 6 - на вращающийся стеклянный диск 8. Контрольная пленка на диске 8 настолько тонка, что остается прозрачной до конца напыления.

Фотометрическая измерительная система 1 по изменению светового потока, проходящего 5 через смотровое окно 3 камеры 2 и стеклянный диск 8 с контрольной пленкой и отражаемого призмой 10, контролирует толщину напыляемой пленки.

Незначительной толщины контрольной плен0 ки на стеклянном диске 8 добиваются регулированием размера щели 7, расстояния от напылителей 4 до диска 8 и обрабатываемой детали 5, а также среднего радиуса контрольной напыляемой пленки. 5

Предмет изобретения

Устройство для контроля толщины напыляемых пленок, состоящее из камеры, внутри которой размещены напылители, и фотометрической измерительной системы, отличающееся тем, что, с целью обеспечения контроля толщины непрозрачных напыляемых пленок, камера снабжена экраном с регулируемой щелью, против которой установлен вращающийся прозрачный диск с напыляемой через щель контрольной пленкой.