УСТРОЙСТВО для СОВМЕЩЕНИЯ ПРОТИВОЛЕЖАЩИХЭЛЕМЕНТОВ Советский патент 1969 года по МПК B23K37/47 B23P19/00 

Известно устройство для совмещения противолежащих элементов, например -контактов микросхем при сварке, содержащее два подвижных основания, служащих для закрепления совмещаемых элементов, осветитель и микроскоп.

Цель изобретения - повышение точности совмещения.

Достигается это тем, что перед объективом микроскопа установлена оптическая система, состоящая из двух трехгранных призм, над которыми размещена пентапризма, примыкающая к кубу с полупрозрачной диагональю, на котором укреплена третья трехгранная призма, и зеркала. Осветитель выполнен в виде расположенных между трехгранными призмами и пентапризмой двух ламп с независимым регулированием яркости, разделенных S-образпым экраном.

На чертеже изображена конструкция описываемого устройства в двух проекциях.

Одним из совмещаемых элементов является, например, подложка 1 со схемой, размещенная на подвпжном столе 2, а другим элементом является, например, кристалл 3, контактные ВЫВОДЫ которого (на чертеже не показаны) обращены к рабочей поверхности подложки /. Кристалл 3 .крепится при помощи подвижного вакуумного присоса 4.

Оптическая система 5, вводимая в пространство между подложкой / и -кристаллом 3, состоит из двух трехгранных призм 6 н 7, над которыми размещена пентапризма 8, примыкающая к кубу 9 с полупрозрачной диагональю. Совмещение изображений -кристалла 3 и схемы подложки / осуществляется на верхней горизонтальной грани куба 9. Призмы устанавливают так, чтобы фигуры подложки / и кристалла 3 слились в одно изображение. -Полученное общее изображение поворачивают на 90° в третьей трехгранной призме 10, укрепленной на кубе 9, и при помощи зеркала 11 направляют в объектив микроскопа 12.

Освещаются подложка 1 и кристалл 3 двумя лампами 13 с независимым регулированием яркости, разделенными S-образным экраном 14.

Устройство работает следующим образом.

При выведенной оптической системе 5 на

подвижный стол 2 устанавливают подлол ку

/ со схемой и при помощи микроскопа 12

находят зону схемы с контактами для сварки. Затем при помощи вакуумного присоса 4 подвешивают кристалл 3 контактными выводами вниз, вводят оптическую систему 5, включают и регулируют освещение, перемещают и поворачивают любой из .элементов