Изобретение относится к области измерительной техники и предназначено для измерения параметров р-п-перехода.
Известны устройства для измерения параметров р-«-перехода, содержащие эквивалентную схему р-п-перехода, включенную в плечо сравнения моста, два омических сопротивления в плечах отношения и испытуемый образец с р-и-переходом в четвертом плече моста, осциллограф с дифференциальным входом, включенный в измерительную диагональ моста, генератор прямоугольных импульсов напряжения уравновешивания, включенный в другую диагональ моста.
Известные устройства не обеспечивают одновременное измерение трех параметров р-гаперехода (барьерной емкости, сопротивления запираюшегослоя и объемного сопротивления полупроводника), процесс измерений сопровождается значительным пагревом испытуемого р-га-перехода.
С целью одновременного измерения трех параметров р-п-перехода в зависимости от импульсного напряжения смещения и для повышения точности измерения, устройство содержит генератор прямоугольных импульсов напряжения смещения, подсоединенный к выходу опорного импульса генератора импульсов запуска, к выходу задержанного импульса которого подсоединен генератор прямоугольных
импульсов напряжения уравновешивания, а выходы генераторов прямоугольных импульсов напряжения уравновешивания и смещения через сумматор подсоединены к диагонали питания моста.
На чертеже представлена структурная схема устройства для измерения параметров р-п-перехода, где эквивалентная схема р-гаперехода содержит переменные сопротивления У и 2 и переменную емкость 3; в плечи отношения моста включены омические сопротивления 4 и 5; четвертуй) диагональ моста составляет испытуемый образец 6; в измерительную диагональ моста включен генератор 7 импульсов суммарного напряжения, содержаший генератор 8 импульсов запуска с выходом 9 опорного импульса и выходом 10 задержанного импульса, генератор // прямоугольных импульсов напряжения уравновешивания с длительностью -ур , генератор 12 прямоугольных импульсов напряжения смещения с длительностью сумматор 13 и осциллограф 14 с дифференциальным входом, один канал осциллографа включен в измерительную диагональ, а другой - в диагональ питания моста.
Принцип работы устройства состоит в следующем.
