ШИРОКОПОЛЬНЫЙ РАСТРОВЫЙ ОБЪЕКТИВ Советский патент 1969 года по МПК H01L21/00 

Предлагаемый растровый объектив предназначен для получения комплектов фотошаблонов, используемых при изготовлении полупроводниковых приборов и твердых схем.

Известен растровый объектив, содержащий сменную диафрагму и систему иреломляюндих оптических элементов (линзовых растров), расположенных в определенном порядке в одной плоскости для размножения изображений оптическим путем с одновременным уменьплением (200-700-кратным). Однако поле, которое обеспечивает каждая элементарная линза растра, не превышает0,5X0,5жж в пространстве изображений. Это затрудняет внедрение растров в производство твердых схем и отдельных полупроводниковых приборов, размеры которых достигают 1X1 мм и больше.

Предлагаемый широкопольпый растровый объектив обеспечивает качественное изображение на большом поле за счет того, что каждая из ячеек линзового растра включает в себя несколько элементарных линз, расположенных одна от другой в ячейке на расстоянии, равном рабочему полю, рисуемому элементарной линзой.

На чертеже изображены две проекции части четырехлинзового широкопольного растрового объектива (на второй проекцин сменная диафрагма не показана).

Объектив содержит линзовый растр 1, каждая ячейка 2 которого состоит из четырех элементарных линз 3. Все линзы растра 1 задиафрагмированы апертурной диафрагмой

и сменной диафрагмой 5, которая поочередно перекрывает три линзы из четырех во всех ячейках растра. Расстояние t между линзами в каждой ячейке строго одинаково и равно рабочему полю, рисуемому элементарной линЗОЙ. К точности соблюдения шага Г ячеек высоких требований не предъявляется.

При воспроизведении оригинала через одну из линз каждой ячейки растра фотографируется первая четверть оригинала, после чего бывшие в работе линзы с номопдью сменной диафрагмы перекрываются, а следующие линзы каждой ячейки открываются, затем делается второе экспонирование и т. д. до построения полного изображения. Таким образом, для получения фотошаблона с помощью данного объектива необходимо нровести четыре съемки отдельных четвертей целого оригинала, которые стыкуются на фотослое и

Предмет изобретения

Широкопольный растровый объектив, содержащий линзовый растр и сменную диафрагму, отличающийся тем, что, с целью увеличения размеров рисунка схемы на фотошаблоне с обеснечением стыковки частей целого изображения, иолученного по частям оптическим путем, линзовый растр состоит из ячеек, кал-:дая из которых включает в себя несколько элементарных линз, расположенных одна от другой в ячейке на расстоянии, равном рабочему полю, рисуемому элементарной линзой.

. 5