Предложенная электростатическая линза предназначена для формирования электронных или ионных пучков в рентгеновских микроанализаторах.
В существующих промыщленных образцах рентгеновских микроанализаторов микропучки формируются, как правило, при помощи магнитных электронных линз, так как электростатические формирующие линзы, обладающие малой сферической аберрацией, не имеют достаточной пробивной прочности.
Предложенная электростатическая одиночная асимметричная формирующая линза не уступает но качеству магнитным формирующим линзам, сохраняя в то же время преимущества электростатических систем. Использование этой линзы обеспечивает регистрацию интенсивного характеристического рентгеновского излучения, исходящего под большим углом к поверхности образца (порядка 45°), хорошую пробивную прочность и визуальное наблюдение поверхности исследуемого участка образца нри помощи длиннофокусного светоонтического микроскопа.
Описываемая электростатическая формирующая линза отличается тем, что она имеет асимметричный толстый средний электрод и выходной электрод с конической наружной поверхностью с острым или прямым углом у верщины.
С целью получения возможно меньшей сферической аберрации линзы и, следовательно, возмол но большей плотности пучка фокусируемых частиц на поверхности образца, конструктивные размеры линзы выбраны следующими:
рабочий отрезок, или отношение расстояния от линзы до образца /р к диаметру канала среднего электрода D, лежит в пределах от 1 до 1,2;
отношение величины зазора S между средним и выходным электродами к диаметру D канала среднего электрода равно 0,22-0,5;
отношение величины зазора 5i между средним и входным электродами к диаметру D канала среднего электрода равно 1,5-2,2;
отношение толщины Т среднего электрода к диаметру D его канала равно 1,8-2,2;
отнощение диаметра DI камеры среднего электрода к диаметру D канала этого электрода равно 2,7-3,7.
Вследствие того, что отношение толщины среднего электрода к диаметру канала этого электрода T/D значительно больше единицы, а линза длиннофокусная, напряжение U, подаваемое на средний электрод и служащее для. фокусировки линзы, может быть значительно меньшим, чем ускоряющее напряжение. Это обеспечивает высокую надежность линзы в отнощении пробоев по изолятору.
