ТЕХЯИЧЕСНАЛ -" БКБ^ШОТЕКАЛ. С. Агроскин Советский патент 1969 года по МПК G02B21/00 G01J1/36 

Изобретение относится к области оптикомеханической промышленности, а именно, к двухканальным сканирующим микроскоп-фотометрам.

Известные двухканальные сканирующие фотометры с каналами сравнения и измерения, содержащие источник излучения, разделитель световых пучков, сканирующий элемент, контролируемый объект, оптические клинья-компенсаторы и устройство с фотоэлектрической регистрацией, ве обеспечивают получения ВЫСОКОЙ точности измерений и фиксирования координат измеряемых точек.

В предлагаемом устройстве компенсационный кольцевой клин с приводом для непрерывного вращения в канале сравнения снабжен датчиком, периодически вырабатывающим импульсы в момент равенства опорного и измерительного сигналов, с преобразователем «положение-цифра, регистрирующим положение кольцевого клина IB момент равенства этих сигналов, и датчиком для фиксации моментов окончания каждого цикла измерений, импульсы которого используются для управления сканирующим элементов.

Блок-схема предлагаемого двукалального микроскоп-фотометра показана на чертеже.

Он содержит измерительную ветвь и ветвь сравнения.

Измерительная ветвь состоит из осветител; /, сканирующего устройства 2, микроскопа с исследуемым объектом и приемника 4. Оптическая ветвь сравнения состоит и:

светоделителей 5 к 6 зеркал 7 и 8. Разделе ние световых потоков происходит дисковьп модулятором 9. Переменный сигнал, возни кающий на выходе приемника 4, усиливаетС5 в блоке 10 и ноступает на схему сравнени5

llj где сравниваются измерительный cnrnaj с опорным.

Для реализации принципа оптической ком пенсации в ветвь сравнения введен оптиче ский клиновой ослабитель 12, выполненный t

виде кольца. При помощи двигателя 13 этот клин совершает непрерывное вращение i плоскости, перпендикулярной лучу, и такил образом периодически изменяет амплитуду сигнала сравнения в соответствии с изменением прозрачности. В момент равенства амплитуд обеих сигналов схема сравнения И вырабатывает им-пульс .на регистрацию полоЛСения клина. При помощи преобразователу; угол - код 14 это положение фиксируется Е

выходном блоке 15 в цифровой форме. Величины, регргстрируемые в блоке 15, могут быть выражены непосредственно в единицах оптической плотности, носкольку угол поворота клина однозначно связан с его плотностью.