УСТРОЙСТВО для ОБНАРУЖЕНИЯ ТЕЧИ В ВЫСОКОВАКУУМНЫХ ОБЪЕКТАХ Советский патент 1969 года по МПК G01L19/08 

РЬобретение относится к устройствам контроля параметров.

Известны устройства для обнаружения течи в высоковакуумных объектах, содержащие иидикатор течи, присоединенный к исследуемому объекту, вакуумный натекатель и блок регистрации.

Однако эти устройства сложны по конструкции и не позволяют обнаружить сверхмалые течи.

Цель настоящего изобретения - повышение чувствительности и упрощение конструкции устройства.

Это достигается тем, что индикатор течи выполнен в виде вакуумной камеры с вакуумплотиым окном, прозрачным для теплового излучения, возникающего при окислении поверхности помещенного в ней датчика парциального давления кислорода, выполненного в виде пластины монокристаллического кре.мния, с системой очистки его поверхности от адсорбированных газов, а приемник теплового излучения блока регистрации, например болометр, установлен вне вакуумной камеры.

На чертеже представлена блок-схема описываемого устройства.

давления кислорода, выполненный в виде пластины монокристаллического кремния, с системой очистки его поверхности от адсорбированных газов 5.

Вакуумная камера 3 снабл ена вакуумноплотным окном 6, прозрачным для теплового

излучения, и соединена с вакуумным натекателем 7.

Блок 8 регистрации течи содержит приемник теилового излучения (болометр) 9, установленный вне вакуумной камеры 3 и подсоединенный к регистратору 10.

Принцип работы устройства основан на измерении парциального давления кислорода

путем регистрации теплового излучения, возникающего при окислении чистой поверхности монокристаллического кремния.

Для обнаружения течи к исследуемому объекту 2 присоединен индикатор течи, вакуумная камера которого откачана до давления торр.

В вакуумной камере 3 размещен предварительно обезгажепный датчик иарциальиого давления кислорода, выполненный в виде

пластины монокристаллического кремния.

В вакуумную камеру с помощью вакуум1юго натекания 7 напускается спектрально чистый кислород до давления торр. Теиловое излучение, сопровождающее проповерхностью кремния, проходит через вакуумплотное окно 6 и регистрируется болометром 9. 3vTeKTpn4ecKHft сигнал, снимаемый с болометра -9, регистрируется регистратором 10. При наличии течи в исследуемом объекте 2 изменяется уровень кислорода и его парциальное давление, по изменению которого можно определять натекания в проверяемом объекте. Предмет изобретения Устройство для обнарул ения течи в высоковакуумных объектах, содержащее индикатор течи, присоединенный к исследуемому объекту, вакуумный натекатель и блок регистрации, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности и упрош.ения конструкции, в нем индикатор течи выполнен в виде вакуумной камеры с вакуумплотным окном, прозрачным для теплового излучения, возникающего при окислении поверхности помещенного в ней датчика парциального давления кислорода, выполненного в виде пластины монокристаллического кремния, с системой очистки его поверхности от адсорбированных газов, а приемник теплового излучения блока регистрации, например болометр, установлен вне вакуумной камеры.