Известны фотоэлектрические устройства для измерения относительного перемещения двух частей механизма, содержащие осветитель с оптич,еской системой, сканирующий элемент, измерительную и индикаторную растровые рещетки.
С целью повышения , скорости измерений -в предлагаемом устройстве сканирующий элемент выполнен в виде вакуумированного сканато.ра, перед коллектором которого установлена индикаторная растровая решетка.
На чертеже приведена принципиальная схема описываемого устройства.
Описываемое фотоэлектрическое устройство для измерения относительного перемещения подвиЖНых частей работает следующим o6|paзом.
Световой поток от осветителя 1 оптической системой 2 преобразуется в параллельный световой пучок, проходящий через прозрачные участки измерительной растровой рещетки 3, связанной с ПОДВИЖНОЙ частью механизма, на фотокатод 4 вакуумирован-ного сканатора 5, об|разуя ,на яем. изо бражение измерительного растра. Фотоэлектроны с фотокатода, сфокусированные с помощью катушки 6, переносятся в плоскость индикаторной растровой рещетки 7.
на коллектор 8, при этом в цепи коллектора проходит ток, зависящий от положения электронного изображения на и-ндикатор.ном растре. Колебания изображения измерительного растра возникают при подачи переменного тока в катушку Я а смещения - при подаче постоянното тока в катушку 10. Если колебания участков изображения измерительного растра, соответствующих прозрачным участкам этого растра, происходят симметрично относительно осей симметрии прозрачных либо непрозрачных участков индикаторного растра, то в цепи коллектора произойдет удвоение частоты по сравнению с частотой отклонения.
При перемещении измерительного растра относительно сканатора на половину периода растра фаза тока коллектора изменится на 180°. Измеряя изменение фазы фазочувствительпым прибором и подавая компенсационное напряжение в катущку W, получают нулевое показание фазочувствнтельного прибора, и по величине компенсирующего напряжения определяют величину смещения подвижной части механизма.
Описываемое устройство может быть несколько видоизменено. Для переноса изобран ения изме1рительной растровой решетки может быть применен дополнительный объектив
может быть установлен фотоумножитель либо экран с люминофором.
Предмет изобретения
Фотоэлектрическое устройство для измерения перемещений двух частей механизма, содержащее осветитель с оптической системой, сканирующий элемент, измерительную и индикаторную растровые решетки, отличающееся тем, что, с целью новышения скорости измерений, сканирующий элемент вынолнен в виде вакуумированного сканатора, перед коллектором которого установлена инди-каторная растровая .решетка.
