АТЕНТКО- ..., ТЕХНИЧЕСКАЯ '" SHBJI00TE[fA Советский патент 1970 года по МПК H01L21/66 

Известны автоматы для разбраковки полупроводниковых пластинок по удельному сопротивлению, которые содержат мост переменного тока, два плеча которого являются колебательными контурами, генератор качающейся частоты, пиковый вольтметр и устройства сравнения.

Предложенный автомат отличается от известных тем, что одно из плеч моста является генератором самовозбуждения, контурная индуктивность которого представляет собой датчик, а сетка подключена к генератору линейно надаюш,его напрял :еиия. Другое плечо моста является усилителем на активных сопротивлениях, управляющий электрод которого подключен к конденсатору, подключенному к выходу блока автоподстройки нуля. Эти отличия позволяют повысить точность измерения.

На чертеже изображена блок-схема автомата.

Одно из нлеч моста постоянного тока / является генератором самовозбуждения 2, коитурная индуктивность которого представляет собой датчик - преобразователь 3. Усилитель 4 на активных сопротивлениях является вторым плечом моста. В его диагональ включен вход усилителя - ограничителя 5. Выход блока автоподстройки нуля 6 подключен к конденсатору 7, включенному на вход усилителя 4. Выходы сравнивающего устройства 8 подключены к генератору линейно падающего напряжения 9 и генератору имп льсов 10, выход которого подключен ко входу счетно-логического устройства П. Б схему входит также механизм коммутации 12.

Работает автомат следующим образом. Измеряемый кристалл вводится в зазор датчика 3, добротность которого падает, вызывая увеличение постоянной составляющей анодного тока. В результате этого в диагонали моста } протекает постоянный ток разбаланса, величина которого обратио пропорциональна удельному сопротивлению. Ток разбалапса усиливается и ограничивается усилителем-ограничителем 5 и открывает сравнивающее устройство 8, определяя действие компенсирующего напряжения с генератора 9 линейно падающего напряжения, которое подается на сетку генератора 2 и уменьшает ток разбалаиса до уровня, постояппо устаповлепного на сравнивающем устройстве 8.

В момент компепсации тока разбалаиса сравиивающее устройство закрывается. Ма

его выходе образуется импульс, длителыюсть которого обратно пропориионлльиа удельиому сопротпвлению. Этот импульс заиускает геиератор импульсов 10, определяя серию импульсов, число которых пропорцпоиальио длительСерия импульсов сравнивается по числу импульсов в счетно-логр1ческом устройстве 11 ч заложенной в него программой; сигнал сравнения направляет кристалл в соответствующий бункер.

После вывода кристалла из зазора сигнал разбаланса моста (сигнал временной нестабильности) подается в блок автоподстройки 6, вызывая заряд конденсатора 7 до напряжения, величина и знак которого обратно пропорцнональны сигналу разбаланса. Напряжение с коиденсатора, поданное на вход усилителя 4, приводит мост перед измерением каждого кристалла в исходное состояние.

Через каждые 23 цикла измерения через контакт на усилитель подается эталонный сигнал, соответствующий минимальному удельному сопротивлению, для нроверки нравильности работы автомата.

Предмет изобретения Автомат для разбраковки полуироводниковых пластинок по удельному сопротивлению

с использованием преобразования величины удельного сопротивления в число имиульсов, содержащий датчик в виде тороидального сердечника с зазором, в который устанавливается измеряемая иластинка, мост иостоянного тока, блок автоподстройки пуля, сравнивающее устройство, генератор линейно надающего нанряжения, генератор импульсов и счетнологическое устройство, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности измерения, одно из плеч моста выиолнено в виде генератора самовозбуждения, контурная индуктивность которого представляет собой датчик, а сетка подключена к генератору линейно падающего напряжения, другое плечо моста выполнено в виде усилителя на активных сопроft

тивлениях, управляющий электрод которого подключен к конденсатору, подключенному к выходу блока автоподстройкн нуля.