МАТЕРИАЛ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОДЖИГАТЕЛЕЙ ИОННЫХ ВЕНТИЛЕЙ Советский патент 1970 года по МПК H01J13/34 

Известен материал для изготовления полупроводниковых поджигателей, содержащий бор, нитрид бора и углерод. Однако поджигатели из такого материала характеризуются нестабильностью параметров в процессе эксплуатации и имеют высокую мощность поджпга (2 кет).

Целью предлагаемого изобретения является повышение стабильности параметров поджигателей при эксплуатации и уменьшение мощности поджпга вентилей. Для этого в качестве исходных компонентов материала взяты силицид молибдеиа ,и нитрид кремния.

Предмет изобретения

Указанные компоненты могут содержаться в количестве: 40-60% силицида молибдена и 60-40% нитрида кремния.

Технология изготовления поджигателей пз предлагаемого материала заключается в горячем прессовании смеси порошков указанных компонентов в графитовых пресс-формах при 1800-2000С и давлении 200 кг/см в течение 1,5 мин.

Для сравнения в таблице приведены параметры поджигателей, изготовленных из известного и предлагаемого материалов.

Таблица

стабильности параметров поджигателей и уменьшения мощности поджига, в качестве исходных компонентов взяты силицид молибдена и нитрид кремния. 3 2. Материал по п. 1, отличающийся тем, что указанные компоненты взяты в соотноше4нии 40-60% силицида молибдена и 60-40% нитрида кремния.