ВАКУУМНАЯ ЛОВУШКА Советский патент 1970 года по МПК F04B37/04 

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известны сорбционные ловушки для диффузионных насосов, содержащие узлы для нагрева и охлаждения сорбента. Однако при использовании таких ловушек необходимо периодически отключать откачиваемый объем для обезгаживания сорбента.

В предлагаемой ловушке сорбент закреплен в кольцевых пазах враш;аюш;егося диска, к которому подсоединены устройство для его враш;ения и узел охлаждения сорбента, а нагреватель установлен в пазах диска, в зоне патрубка диффузионного насоса, расположенной оптически плотно по отношению к патрубку откачиваемого объема.

Это позволяет регенерировать сорбент без отключения ловушки от откачиваемого объема.

Ловушка и ее подсоединение к насосу и откачиваемому объему показаны на фиг. 1 и 2 (на -фиг. 2 -- разрез ловушки по линии А-А на фиг. 1).

Она содержит цилиндр с фланцами 1 н 2, подсоединяемыми к фланцам и 4. К фланцу 4 крепятся патрубки 5 и 6, подсоединенные соответственно к пароструйному насосу и откачиваемому объему. Фланец 3 используется для отвода тепла от сорбционного диска 7 с

помощью закрепленного на нем узла охлаждения 5. Узел сорбционного диска предназначен для размещения на нем сорбента, создания оптической плотности . патрубками,

связанными с пароструйным насосом и откачиваемым объемом, обеспечения непрерывного обезгаживания сорбента. Сорбционный . диск выполнен с прямоугольными кольцеобразными назами, в которых закреплен сорбент 9 марки CKT н СТМ-М с помощью сетки 10. Толщина слоя сорбента 2-4 мм. В качестве сорбента может использоваться любой другой сорбционный материал. Количество сорбента рассчитывается исходя из величины обратного потока паров масла пароструйного насоса, рода масла, длительности цикла обезгаживания сорбента. Длительность цикла определяется временем обезгал ивання сорбента. При использовании устройства как сверхвысоковакуумного насоса количество сорбента рассчитывается исходя из величины необходимой скорости откачки, рабочего давления откачиваемого газа, рода сорбента, температуры его охлал дения, длительности цикла

обезгаж;ивания.

Для обеспечения непрерывного обезгаживания сорбента диск 7 нриводится во вращательное движение от электромеханического привода. Обезгаживанне сорбента прогревом осутыми по форме пазов диска 7. Лампы за-креплены на керамической панели 12 с помощью пружинных держателей 13. Панель кренится к корпусу ловушки. Регулировка накала ламп позволяет найти оптимальный режим обезгаживания сорбента. Охлаждение сорбента осуществляется при подаче воды в узел охлаждения 8.

Поворот диска производит храповой механизм через сильфонный узел. После поворота сорбционный диск опускается на фланец 3. Для обеспечения контакта но плоскости между диском 7 и фланцем 3 диск подвещен на щарнире.

Предмет изобретения

Вакуумная ловушка для диффузионного насоса, содержащая сорбент и узлы для его нагрева и охлаждения, отличающаяся тем, что, с целью непрерывной регенерации сорбента без отключения ловушки от откачиваемого объема, сорбент закреплеи в кольцевых пазах диска, к которому подсоединены устройство для его вращения и узел охлаждения сорбента, а нагреватель установлен в пазах диска в зоне натрубка насоса, расположенной оптически плотно по отношению к патрубку откачиваемого объема.

Фг/г /

А

иг.2