СОРБЦИОННАЯ ЛОВУШКА Советский патент 1969 года по МПК H01J9/385 

Изобретение предназначено для использования в электровакуумной промышленности при откачке электронных приборов с помощью диффузионных паро-масляных насосов

Известны сорбционные ловушки для диффузионных паро-масляных насосов, содержащие средства для их подсоединения между откачиваемым объемом и насосом, например фланцы, и сорбирующие элементы в виде теплопроводной основы, на которую нанесен сорбент. Чтобы освободить ловушку от газа при ее регенерации, ее прогревают до 300-400°С в течение 30-40 мин электронагревателем, расположенным снаружи ловушки.

Предлагаемая ловушка отличается от известных тем, что основа сорбирующего элемента выполнена в виде спирали из электропроводного материала, концы которой соединены с электровводами, установленной так, что откачиваемый газ может проходить только между ее витками. Один конец спирали можно укрепить на фланце, обращенном к откачиваемому объему так, что ее внутренний объем соединится с отверстием фланца. Другой ее конец при этом наглухо закрывается.

Это позволяет сократить время обезгаживания ловушки до 10 сек за счет того, что прогревается только материал, непосредственно связанный с сорбентом, и тепло не расходуется на разогрев посторонних деталей (корпуса, керамических бус и т.д.).

Конструкция ловушки представлена на чертеже.

Во фланце 1, разделяющем откачиваемый объем и насос, имеется отверстие, над которым одним своим концом закреплена спираль 2 из электропроводного материала, покрытого сорбентом. Второй конец спирали заглушен, поэтому откачиваемый газ может проходить только между ее витками. Оба конца спирали соединены с электровводами 3 и 4.

Для обезгаживания сорбента через спираль пропускают электрический ток. Обезгаживания в течение 10 сек достаточно для получения над ловушкой давления 5·10^-7 мм рт. ст. При более длительном обезгаживании (около 10 мин) может быть получено давление до 1·10^-8÷3·10^-9 мм рт. ст. Это позволяет использовать предлагаемую ловушку и для откачки высококачественных электровакуумных приборов.

1. Сорбционная ловушка для диффузионного паро-масляного насоса, содержащая средства для ее подсоединения между откачиваемым объемом и насосом, например фланцы, и сорбирующие элементы в виде теплопроводной основы, на которую нанесен сорбент, отличающаяся тем, что, с целью ускорения регенерации ловушки, основа сорбирующего элемента выполнена в виде спирали из электропроводного материала, концы которой соединены с электровводами, установленной так, что откачиваемый газ может проходить только между ее витками.

2. Ловушка по п. 1, отличающаяся тем, что один конец сорбирующей спирали укреплен на фланце, обращенном к откачиваемому объему, так, что ее внутренний объем соединен с отверстием фланца, а другой конец заглушен.