ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ КОНТУ1ВСЕСОЮЗНАЯпАТ?НТУО-тЕКь;!';::нАйБИБЛИОТЕКА Советский патент 1970 года по МПК H05B6/00 H05B6/08 H05H1/00 

Изобретение относится к устройствам для высокочастотного нагрева, например, плазмы, в особенности для того случая, когда в плазму необходимо вводить высокочастотные мощности в несколько мегаватт и выше.

Обычно передача мощности в плазму осуществляется через индукционную катущкуиндуктор, который является частью колебательного контура. Увеличение уровня мощности сопряжено с увеличением объема, занимаемого конденсаторами, и с увеличением напряжения на контуре. При этом возникают серьезные проблемы по электрическому упрочнению. Для решения этой задачи стремятся понизить волновое сопротивление контура, например, уменьшая его индуктивность. Но это требует одновременного снижения величины паразитной индуктивности: индуктивности подводящих проводов, индуктивности конденсаторов и др.

По основному авт. св. № 254680 известен высокочастотный контур, содержащий конденсаторы и индукционную катушку в виде двух концентрично распололсенных витков, которые разбиты на сектора, причем зазоры между секторами одного витка находятся против середииы секторов другого витка.

ны в пакеты. Пакеты равномерно располол ены по нериметру витков катушки, а смелсные пластины соседних пакетов подсоединены к одному и тому витку. Для повышения равномерности магнитного поля катушка может быть выполнена в виде нескольких параллельно соединенных парных витков.

Па фиг. 1 показан предлол енный контур, общий вид; на фиг. 2 - схематическое изобрал ение его.

Индукционная катушка контура выполнена из двух витков / и 2, которые разрезаны на сектора и соединены контурными конденсаторами 3. Конденсаторы набраны в пакеты и включены мелчду металлически.ми пластинами 4. Максимальное нанряжение на таком конденсаторе относительно земли снил ается в несколько раз (в зависимости от числа секторов) по сравнению с .максимальным напряжением на контуре.

Катушка может быть также собрана из нескольких параллельно соединенных парных витков. Па фиг. 2 показана катушка, которая состоит из двух групн. Это позволяет уменьшить неоднородность магнитного ноля внутри катушки п азимутальном направлении, которая бьгть особенно сун1.ественной при увеличении длины катушки.

ное использование объема вокруг катушки. При этом пакеты, в которых объединены конденсаторы, расположены так, что соседние пластины пакетов подсоединены к одному и тому же витку. Все это позволяет уменьшить паразитную индуктивность, более эффективно разместить конденсаторы и повысить мощность контура.

Предмет изобретения

I. Высокочастотный контур по авт. св. № 254680, отличающийся тем, что, с целью уменьшения паразитной индуктивности, контурные конденсаторы набраны в пакеты, в которых конденсаторы включены между параллельными металлическими пластинами, пакеты равномерно расположены по периметру витков катушки, а смежные пластины соседних пакетов подсоединены к одному и тому же витку.

2. Контур по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности магнитного поля, катушка выполнена в виде нескольких параллельно соединенных парных витков, которые охватывают друг друга и подсоединены к общим пакетам конденсаторов.