ВАКУУМНЫЙ СОРБЦИОННЫЙ НАСОС Советский патент 1970 года по МПК F04B37/02 F04B37/08 

1 .

Известны вакуумные сорбционные насосы, содержащие корпус с размещенным внутри поглотительным элементом в виде металлического цилиндра, например из титана, и щетки из вольфрамовых проволок для удаления сорбированного слоя и восстановления поглотительной активности цилиндра.

Цель изобретения - повысить скорость откачки и обеспечить предельный вакуум.

Для этого цилиндр имеет двойные стенки, полость между которыми заполнена жидким хладагентом, например гелием, а щетки установлены на вращающихся опорах и примыкают с обеих сторон .к части рабочей поверхности цилиндра для того, чтобы на остальной поверхности осуществлять сорбцию инертных газов с помощью предварительно намороженного слоя аргона.

На фиг. 1 схематически изображен описываемый насос, продольный разрез; на фиг. 2 - то же, поперечный разрез.

В корпусе / насоса цилиндрической формы помещен неподвижный цилиндр 2 с полыми стенками. Цилиндр из титана или другого металла-сорбента укреплен на корпусе с помощью горловины 3, через которую в кольцеобразную полость 4 цилиндра заливается жидкий азот или гелий. На корпусе насоса установлена диафрагма 5, в стакане 6 которой на шарикоподщипниках 7 смонтирован вал 8. На одном конце вала ариварена траверса 9 с четырьмя щетками 10 из вольфрамовой проволоки (диаметр проволоки ,15 мм). На другом конце вала смонтирована магнитная полумуфта //. Фланец 12 присоединяет корпус насоса к реципиенту 13. С противоположной стороны внутренняя полость корпуса насоса закрыта патрубком 14

и заглушкой 15. С помощью лап 16 насос установлен на плите или раме 17. На этой же плите установлен электродвигатель 18, на выходном валу которого смонтирована магнитная полумуфта 19. Уплотнение отдельных

деталей насоса осуществляется металлическими уплотнениями 20-22, которые поджимаются болтовыми соединениями. Шарикоподщипники в вакууме смазывают твердыми смазочными веществами, например дисульфидом

молибдена MoS. Для уменьшения расхода хладагента применена система тепловых экранов 23.

Вакуумный сорбционный насос работает следующим образом.

Вал электродвигателя 18 вращает с помощью магнитных полумуфт 11 н 19 вал 8. Щетки 10 при вращении вала скользят по цилиндрическим поверхностям nOvToro цилиндра 2, при этом они непрерывно очищают

При работе насоса на поверхности цилиндра 2, -не затрагиваемой щетками, намораживаются инертные газы, в частности аргон, который сам становится сорбентом для других плохо сорбирующихся титаном или другим металлом-сорбенто1М газов.

Перед пуском насоса целесообразно продуть реципиент сухим воздухом или азотом, который образуется при испарении жидкого газа.

Предмет изобретения

Вакуумный сорбционный «асос, содержащий корпус с размещенным внутри поглотительным элементом в виде металлического цилиндра, например из титана, и щетки из вольфрамовых проволок для удаления сорбированного слоя и восстановления поглотительной активности цилиндра, отлич,ающийся тем, что, с целью повышения скорости откачки и обеспечения предельного вакуума, цилиндр имеет двойные стенки, полость между которыми заполнена жидким хладагентом, например гелием, а щетки установлены на вращающихся опорах и примыкают с обеих сторон к части рабочей поверхности цилиндра с тем, чтобы на остальной поверхности осуществлять сорбцию инертных газов с помощью предварительно намороженного слоя аргона.

22

721

I

10