ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ Советский патент 1970 года по МПК G01B9/21 G01B15/00 

Изобретение относится к оптическим методам исследования качества поверхностей.

Известные голографические методы контроля качества оптических поверхностей требуют изготовления эталонных поверхностей, волновой фронт которых используют для сравнения с волновым фронтом контролируемой поверхности.

По предлагаемому способу для расширения диапазона его применения и повышения точности эталонный волновой фронт восстанавливают с голограммы, изготовленной, например, механическим способом непосредственно по расчетным данным исследуемой поверхности.

На чертеже дана принципиальная схема устройства; реализующего предлагаемый способ.

За источником / света, например лазером, соосно с ним расположены коллиматор 2 и контролируемая поверхность 3, между которыми установлена светоделительная пластина 4, по одну сторону от которой расположено плоское зеркало 5, а по другую - голограмма 6.

Голограмму изготавливают каким-либо способом, например механическим по расчетным данным, полученным по известному уравнению эталонной поверхности, и устанавливают параллельно плоскому фронту волны, отраженному от зеркала 5 и прошедшему через светоделптельную пластину 4. Контролируемую поверхность 3 устанавливают так, чтобы ось симметрии фронта волны, отраженного от нее и направленного на голограмму 6, была перпендикулярна плоскости голограммы. В этом случае световой поток, отраженный контролируемой поверхностью, освешает голограмму и восстанавливает волновой фронт, т-п«

пели поверхность 3 не имеет отступлении от

заданной формы, то картина интерференции, создаваемая гологр-аммой (восстановленной и плоской волной), представляет собой равномерный фон. В случае отступления контролируемой поверхности от заданной формы возникают интерференционные полосы, по которым определяют качество оптической поверхности. Таким образом, предлагаемый способ позволяет исключить операцию изготовления эталонной поверхности и устранить ошибки контроля испытуемой поверхности, обусловленные неточностью изготовления эталонной поверхности. Ошибки же изготовления эталонных поверхностей неизбежны и особенно велики в случае изготовления асферических поверхностей высокого порядка из-за отсутствия надежных методов контроля. В то же время технические возможности позволяют рассчитывать и изготавливать искусственные голограммы с достаточно высокой степенью

точности. Например, при механическом способе изготовления голограмм путем использования технологии изготовления диффракционных решеток можно изготавливать искусственные голограммы асферических поверхностей с угловой апертурой до 90°. В случае применения предлагаемого способа для контроля асферических поверхностей целесообразно применять одноосевую схему интерферометра. Тогда голограмма представляет собой систему концентрических колец, закон распределения которых определяется уравнением контролируемой асферической поверхности, а процесс изготовления такой голограммы значительно упрощается.

Предмет изоб ре тения

Голографический способ контроля оптических поверхностей, преимущественно асферических, заключающийся в сравнении волнового фронта от исследуемой поверхности с эталонным волновым фронтом, восстановленным с голограммы, отличающийся тем, что, с целью расщирения диапазона применения

способа и повыщения точности, эталонный волновой фронт восстанавливают с голограммы, изготовленной, например, механическим способом непосредственно по расчетным данным исследуемой поверхности.