Интерферометр радиального сдвига Советский патент 1976 года по МПК G01B9/21 G01B11/24 

1

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля качества изготовления асферических поверхностей и может быть использовано при производстве оптических деталей.

Известен интерферометр для контроля качества изготовления асферических поверхностей, содержащий источник света, светоделительный элемент, искусственную голограмму, эталонное сферическое зеркало, установленное за голограммой, блок регист радии интерференционной картины l .

Недостатком известного интерферометра является неустойчивость интерференционной картины к внешним воздействиям, например вибрациям, обусловленная тем, что эталовм ные и рабочие ветви разделены.

Наиболее близким по технической cyuvности к предложенному изобретению являет ся интерферометр радиального сдвига, содержащий установленные последовательно источник света, оптическую систему, осуществляющую деление исследуемого волнового фронта на два и их относительный ра.диальный сдвиг и регистрирующий блок. Оптическая система такого интерферометра выполнена в виде системы зеркал, полупрозрачных пластин и линзовых элементов 2.

Однако оптическая система производит преобразование волны только в радиальном направлении и не производит других преобразований, например, асферической волны Б сферическую или плоскую.

Целью изобретения является исследование асферических волновых фронтов.

Эта цель достигается тем, что оптическая система интерферометра выполнена в виде искусственной голограммы.

На чертеже изображена схема интерферометра радиального сдвига.

Интерферометр содержит источник когерентного света 1 и установленные последовательно за ним линзу 2, светоделитель 3, линзу 4, зеркало 5, искусственную голограк му 6 и блок наблюдения 7 (регистрирук щнй блок).

Работает интерферометр следующим образом.

Свет от источника 1 проходит через линзы 2, 4 и сходится в точку Г близи зеркала

5, от которого направляется на голограь му 6, отражается (дифрагирует) от нее и от контролируемой поверхности 8, снова направляется на голограмму 6, дифрагируя (отражаясь) на ней, сходится в точку f и зеркалом 5 направляется на линзу 4, отражается от светоделителя 3 и направляется в блок наблюдения. Если поверхность не имеет заметных отступлений от заданной формы, то дифрагированные на голограмме (отраженные от нее) волны сходятся в точку Р- и на экране наблюдается раваомерный фон. При наличии у контролируемой поверхности дефектов эти волны не сходят ся в одной точке. В этом случае наблк дается картина интерференции радиального сдвига, по которой можно судить о степени отступления контролируемой поверхности от заданной формы.

Ввиду того, что обе волны проходят один и тот же путь, картина интерференции радиального сдвига малочувствительна к

внешним воздействиям, например вибрациям и тепловым потокам воздуха.

Формула изобретения

Интерферометр радиального сдвига, содержащий установленные последовательно источник света, оптическую систему, осуществляющую деление исследуемого волнового фронта на два и их относительный радиальный сдвиг, и регистрирующий блок, отличающийся тем, что, с целью исследования асферических волновы фронтов, оптическая система выполнена в виде искусственной голограммы.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

l. , 1972, т. 11, № 11, стр. 2597-2602

2. Р.HohihoiroiM and D.Sen.J.3e.JnstH. 38, 428, 1961 (прототип).