СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНОГО ТЕРМОАНЕМОМЕТРЛ С ЗАЩИТНЫМ ПОКРЫТИЕМ Советский патент 1970 года по МПК G01P5/12 G01P5/12 

Р1зобретение относится к измepитeльиo y нриборостроению.

Известны пленочные термоанемометры с защитным покрытием, образованным напыленной кварцевой пленкой.

Технология напыления заищтного кварцевого иокрытия и требует сложного оборудования. Инерционность пленочных термоанемометров с кварцевым покрытием нревосходит инерционность аналогичных термоанемометров, ие имеющих покрытия. Кроме того, кварцевое покрытие часто оказывается норпстым. А инерционность термоанемометров с лаковой, например полимерной, пленкой оказывается выще инерционности, вызванной кварцевой пленкой.

Цель.изобретения-разработка сиособа изготовления малоинерционных иленочиых термоанемометров с защитным покрытием, возможно более простого, надежного, не требующего сложного оборудования.

Сущность нредлагаемого снособа заключается в следующем.

На поверхности диэлектрической подложки создают чувствительный элемент в форме тонкой пленки материала, имеющего высокий темиературиый коэффициент электрического сонротивления, наиример илатины, любым известным методом (термического разложения, вакуумного напыления или гальваническим) с последующим вжиганием в подлол ку. Иодложку с полученной пленкой обрабатывают раствором в воде или в органическом растворителе (пиридине. ч.1 -диметилацетамиде, К : -диметилформамиде и др.) соли металлов I, II, III, ЛИ или VIII групп (ацетатами, ацетилацетонатами. формиатами, оксалатами, карбонатами), например 5-10%-нь м растворолг ацетата серебра в пиридне, иодсущивают в токе сухого воздуха. После этого на иоверхность наносят раствор ароматического полиимида, например 5-12%-ный раствор полипиромеллитамидокислоты в диметилформамиде, и нагревают виитервале от 20 до 300°С

со скоростью иодъема температуры 2- 4 град I мин и выдержкой при температурах 200 и 300°С по ОДНОМУ часу.

Предд ет нз обретен и я

20

Способ изготовления пленочного термоанемометра с защитным покрытнем иутем образования на поверхности диэлектрической подложки тонкой металлической пленки методом

термического разложения, вакуумного наныления или гальваническим способом с последующим вжигаиием в подлол ку и нанесения на металлнческую пленку защитного покрытия, отличающийся тем, что, с целью сниженовремеииом повышении механической прочности и защищенности от коррозии и упрощения технологии, иодложку с металлической пленкой обрабатывают раствором в воде или в органическом растворителе (пиридине, N,Nдиметилацетамиде, ,1 -диметилформамиде и др.) соли металлов I, II, П1, VII плп VIII групп (ацетатами, ацетилацетонатами, формнатами, оксалатами, карбонатами), например 5-10%-пы.м раствором ацетата серебра в пиридине, подсушпвают в токе сухого воздуха, после чего на поверхность нано- / сят раствор ароматического иолиимида, на- / нример 5- 2%-ный раствор полнниромелли-/

тамидокислоты в днметилформамиде, и нагревают в интервале от 20 до 300°С со скоростью подъема темиературы 2-4 град1мин и выдержкой при температурах 200 п 300°С по одпому часу.