АМПУЛА ДЛЯ ВОССТАНОВЛЕНИЯ В ГАЗОВОЙ ФАЗЕ МАТЕРИАЛА ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ЧИСТОТЫ Советский патент 1970 года по МПК C30B25/00 

Пзобретеине отиосится к области химической технологии материалов полуироводниковой чистоты, а именно к ампулам для восстановления в газовой фазе материала иолупроводниковой чистоты, например, восстановления водородом мышьяка из его хлорида.

Известны ампулы, предназначенные для этих целей, содержащие куб.-испаритель с входными штуцерами, соединенный трубкой с рабочей камерой, имеюшей перегородки с отверстиями, вставку и выходной штуцер. Трубка имеет шлифовое соединение с рабочей камерой, а перегородки представляют собой плоские диски с отсечными сегментами. Однако известные амнулы не обеспечивают полноту восстановления материала, так как его пары конденсируются между кубом-иопарителем и рабочей камерой.

Кроме того, материал проникает в зазоры шлифового соединения и закли«ивает его. Перегородки не обуславливают полного перемешивания продуктов реакции и .реагируюш,их веществ.

С целью полноты восстановления трубка выполнена в виде капилляра с теплоизолирующей рубаш.кой, а перегородки-в виде вогнутых дисков с центральным соплом и каплеотбойником.

Па чертеже схематически изображена предлагаемая ампула.

Ампула содержит куб-испаритель 1 с входными штуцерами для подвода водорода и трихлорида мышьяка и рабочую камеру 2 с иерегородками 3 (в зоне воостановления) и вставкой 4 (в зоне конденсации). В хвостовой части ампулы имеется штуцер 5 вывода продуктов реакции. Перегородка иредставляет собой круглую вогнутую пластинку с каплеотбойником. В центре пластинки просверлено отверстие-сопло. Трубка 6 иредставляет собой капилляр, что позволяет резко увеличить скорость прохождения паро-газовой смеси в зону восстановления. Конденсация мышьяка исключается. Теплонзолируюп1ая камера 7 пренятстпует теплообмену между зоной восстановления н кубом-нсиарителем, а также между внешними стенками корпуса аппарата и капилляром (забивание капилляра и конденсация мышьяка в зоне восстановления исключаются).

Теплоизолирующая камера 7 представляет гобой вакуумную камеру.

Предмет изобретения

с входными штуцерами, соединенный трубкой с рабочей камерой, имеющей нерегородки с отверстиями, вставку и выходной штуцер, отличающаяся тем, что, с целью лолноты восстановления, трубка выполнена в виде капилляра с теплоизолирующей рубашкой, а перегородки-в виде вогнутых дисков с центральным соилом и каплеотбойником.

2. Ампула по и. 1, отличающаяся тем, что рабочая камера соединена с выходным штуцером при помощи щлифа.

/ (

/ /

77(W ЧЧУУл

lii