СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕМЕНТОВ КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ Советский патент 1970 года по МПК H04R17/00 

Изобретение относится к области технологии изготовления пьезоэлектрических элементов кварцевых резонаторов, в частности кварцевы.х резонато-ров с линейной температурночастотной характеристикой, которые применяются Б качестве датчиков тем1пературы о ружающей в приборах, использующих термочастот1ные способы измерения те.мпературы, например в прямопоказывающих цифровых электронно-счетных термометрах или в системах автоматического регулирования, в которых вводимьгм параметром является частота электрических колебаний.

Известны способы изготовления пьезоэлеAteHTOB кварцевых резонаторов с лилейной температур.но-частотной хара1ктеристикой, в которых используются кварцевые пластины, вырезанные Ив исходного кристалла таким образоМ, что Пара их наибольших граней оказывается повернутой против часовой ст1релки на угол 9° 23 34 вокруг электрической оси X кварца, а также на угол ± 11° 9 58 вокруг оптической оси Z кварца от .плоскости, определяемой обеими указанными осями X VL Z (плоскости XZ). Ориентированные под такими углами кварцевые пластины называются пластинами среза LC.

до бесконечно малых величин четвертого порядка) пьезоэлементы этого среза выполнены с погрешностью угловой ориентации, не превышающей 20-30 указанное условие именно5 для этого среза в настоящее время не может быть обеспечено на практике, поскольку при характеризующем срезе LC сочетании значе-ими угло даже лучшай О|тенеств:ан1ныйрентге«огониометр ДРК--2 дает погрешность изме0 рений в .пределах от 5 до 10.

На чертеже изображено рааположение срезов относительно кристаллографических осей X, У, Z.

С целью обеспечеиия высокой точности ори5 енрировки пьезоэлеметрического элемента относительно крмсталло.физических осей по предлагаемому способу из исходного монокристалла кварца вырезают пьезоэлемент, его базовую плоскость в точности совмещают с ато:,10 ной плоскостью кварца 1451, угол наклона которой относительно оптической оси Z райен 9°4451, а относительно электрической оси X составляет 10°5336.

Предмет изобретен и я

25

Способ изготовления пьезоэлементов кварцевых резонаторов с линейной темнературночастотной характеристикой, заключающийся 30 в том, что из исходного монокристалла квар-да вырезают -пьезоэлемент, базовую плоокость которого поворачивают вокруг аптической iOCH Z II вокруг элект рической о.сн X от пло€коtCTH XZ, апределяелюй упомянутыми осями, атличающийся тем, что, с целью обеспечения высокой точностп ориентировки, базовую

плоскость элемента в точности совмещают с атомной плоскостью кварца 1451, угол наклона которой относительно оптической оси Z равен +9° 4451, а относительно электрической оси X составляет 10°5336.