"Способ изготовления кварцевых резо2 наторов4 Советский патент 1975 года по МПК H03H3/04 

1

Изобретение относится к пьезотехнике, а именно к пьезоэлектрическим кварцевым резонаторам с колебаниями сдвига по толщине, и может быть использовано в пронзводстве кварцевых резонаторов.

Известен способ изготовления кварцевых резонаторов, основанный на вырезании пьезоэлемента из монокристалла кварца с ориентацией его лутем вращения базовой плоскости вокруг оптической оси Z и вокруг электрической оси X.

Однако известный способ не. обеспечивает достаточную воспроизводимость температурио-частотных характеристик резонаторов.

Целью изобретения является повышение воспроизводимости температурно-частотных характеристик резонаторов.

Для этого при вырезании пьезоэлемента eio базовую плоскость совмещают с атомной пло(КОСТ1ЛО кристалла кварца (13.3), причем угол Y между базовой плоскостью н -Э,1ект)ической осью X лежит в пределах от --13°51 до +13°54, а угол р между базовой плоскостью н оптической осью Z равен -33° ±30. Угол Y между базовой плоскостью пьезоэлемента и электрической осью А имеет оптимальные значения -13°54 или +13°54, при которых обеспечивается наилучщая воспроизводимость температурно-частотных характеристик резонаторов.

На чертеже приведена орнентацня пьезоэлемента, где X, У, Y и Z - оси приведенной системы координат.

Пред м е т изобретения

Способ изготовлеиия кварцевых резонаторов, основанный навырезании пьезоэлемента из монокристалла кварца с орнентацней его путем вращения базовой плоскостн вокруг оптической оси Z и вокруг электрической оси /V, о т л и ч а ю HI и и с я тем, что, с целью новьинения воспроизводимости температурночастотных характеристик резонаторов, при вырезании пьезоэлемента его базовую плоекогт) совмещают с атомной плоскостью кристал.ча кварца (13.3), причем угол между базовой плоскостью и электрической осью А лежнт и пределах ±13°54, а между базовой плоскостью и оптической осью Z .минус 33°±30.

У