ДВУХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ Советский патент 1970 года по МПК G01B9/02 

Настоящее изобретение относится к области И31мерительной техники и может найти применение для измерения длин, деформаций и других аналогмчных величин. Известен двухлучевой интерферометр для измерения линейных -перемещений, построенный по схеме Майкельсона и содержащий основание, источник Монохроматического Света, коллиматор, зеркала, полупрозрачную пластину для разделения светового пучка ма две ветви и наблюдательную систему. С целью повыгнения точности и расширения дианазона измерения предлагаемый двухлучевой интерферометр снабжен двумя парами регулируемых между собой блоков отражательных призм, расположенных иа основании во взаимно перпендикулярных (Плоскостях, и -плоским зеркалом с отверстием, установленным в одной из ;ветвей интерферометра. Па чертеже показана схеу.а олисываемого двухлучевого интерферометра. Интерферометр содержит основание /, источник монохроматического с,вета 2, коллиматор 3, зеркала 4-10, полупрозрачную пластину 11 для разделения световогс пучка на две ветви и наблюдательную систему 12. Две пары регулируемых между собой блоков, отражательных призм 13-16, расположены на основании во 1ВзаимНо перпендикулярных плоскостях, а плоское зеркало J7 с отверстием установлено в одной из ветвей интерферометра. Работает интерферометр следующим образом. Свет от источника направляется в коллиматор, выходит из него параллельным пучком, зеркалом 4 направляется на пластину, где делится на два пучка. Один из пучков падает ь;а зеркало 6, установленное на подвижной регулируемой платформе 18, а второй пучок зеркалами 7, 8 и призмами 13 направляется на призму 14. После многократного отражения этот .пучО|К возвращается в пластину, интерферируя с Пучком ветвп зеркала 6. Интерференционная картина повыщенной чувствительности наблюдается в системе 12. Проверяемый прибор 19 своим наконечником может контактировать с торцовой плоскостью каретки 20, и тогда проверяют inorpemность его показаний при вертикальном положении. Если же он своим наконечником контактирует с кареткой 21, то происходит его проверка в горизонтально плоскости. Предмет изобретения Двухлучевой интерферометр для измерения линейных перемещений, построенный по схеме Майкельсона и с-одержащий основание, источник .монохроматического света, коллиматор, зе(ркала, полупрозрэчную пластину для разделения светового пучка на две венви и наблюдательную систему, отличающийся тем, что, С целью повышения точиости и расширения диапазона измерения, он снабжен двумя

парами регулируемых между собой блоков отражательных призм, рдапвложенных на ODHOваиии Бо; вз8ШЙ5 ,пер|пщ1ди:14лярных плоскостях, н илоскчм зеркало1М с отверстием, установленным в одной ИЗ 1ветвей интерферометра