Известны двухлучевые интерферометры для измерения длин и неремещений, построенные по схеме Майкельсона с иснользованием фотоэлектронного устройства для счета интерференционных нолос.
Описываемый интерферометр отличается от известных тем, что в одну из его ветвей введена система зеркал, состоящая из подвижных зеркал , связанных с объектом измерения, и неподвижных зеркал.
Предложенный интерферометр повышает чувствительность и точность измерения смещений путем многократного отражения пучка лучей.
Па чертеже нзобран ена принципиальная схема предлагаемого интерферометра н ход лучей.
Пучок лучей от источника / монохроматического света нроектируется конденсором 2 на щель 3, расположенную в фокальной плоскости объектива 4. Параллельный нучок разделяется светоделительной пластиной 5 на две ветви / и //.
В ветви / расноложено эталонное зеркало 6, Е ветви // - система зеркал, состоящая из подвижных зеркал 7 и S и неподвижного зеркала 9. Пучок лучей, отражаясь от зеркала 7, связаиного с подвижной системой, испытывает многократиые отражения между зеркалами 7 и 9 и после отражения от опорного зеркала 8,
возвращается в светоделительпую пластину 5, интерферируя с пучком лучей нервой ветви.
Зеркала 7 8 могут быть нараллельные или установлены под некоторым углом один к другому и к ходу лучей, обеспечивающим требуемое число отражений.
Интерференционная картина может наблюдаться визуаль)ю через объектив 10 и щель 11 ил1 с помощью полупрозрачной пластины 12 1 поворотного зеркала 13 проектироваться иа две щели 14 и 15. Для фотоэлектрического преобразования световых потоков в электрические сигналы используются фотоэлектронные умножители 76 и 17. Для преобразования информации в дискретно-цифровую форму служит электронная схема, состоящая из усилителей 18 и 19, схемы формирования импульсов 20 и реверсивного счетчика импульсов 21.
Малые разности хода лучей в ннтерферометре нзмеряются следующим образом.
При перемещении зеркал 7 и 8, связанных с объектом измерения, иа неличину / разность хода лучей в интерферометре изменяется на величину Д:
А 2А/.
блю;ипч--/1ьпой системе относительно непод Я1жных нклсй 14 и 15, вызывающее модуляцию С15етог ого потока на фотокатодах ФЗУ.
Число интерференционных полос, прошедц|нх иерез щель в каждом направлеинн, определяется но числу и:лцульсов иа выходе счетного ycTpofieTBa.
При неремещепни зеркала 7 на 7./2 иолучигся Л имиульеов.
Л - sec э:,.
/ -1
Величина /С от которой зависнт цена деления измерительного устройства, должна быть определена расчетом или специалвной град нpoBKoii. Таким образом, чувствительность схемы для измерения перемещения по сравнению с обычной схемой двухлучевого интерферометра ногилпается в 1 раз.
П р е д м е т и з о б р е т е и и я
Двухлучевой интерферометр для измерения :аль1х смещений, построенный по схеме Майке.лвсоиа с использованием фотоэлектронного устройства для счета ннтерферендионных полос, отличающийся тем, что, с це.тью повышеиня чувствительности и точности измерений смещения иутел многократного отражения 1|уч;;а лучей, одиа из вет1}ей интерферометра с()Д(.ржит систему зерка.д, СОСТОЯЩУЮ из подj;ii i : i)ix зеркал, С1 язаниых с обт ектом изме
J vjssBa x ; ч ,
,..Ав :J;i
