ПЬЕЗОКВАРЦЕВЫЙ АДСОРБЦИОННЫЙ ДАТЧИК ВЛАЖНОСТИГАЗОВ Советский патент 1971 года по МПК G01N5/02 

Изобретение относится к измерительной технике.

Известные пьезокварцевые адсорбционные датчики влажности газов, содержащие пьезокварцевый резонатор, покрытый влагоноглощающей пленкой, не обеснечивают достаточной точности измерения и позволяют определять влажность сжатых газов.

Цель изобретения - повышение точности измерения и определение влажности сжатых газов. Достигается она тем, что влагоноглощающая нленка датчика выполнена из цеолита NaA, связанного отожженным тонкопористым кремнеземом.

Повышение влагочувствительности пьезокварцевого адсорбционного датчика и точности его показаний нри работе в сжатых от 1 до 100-300 атм газах различного химического состава достигается тем что влагочувствительная пленка, покрывающая пьезорезонатор, выполнена из зерен тонкопористого цеолита NaA, связанных тонкопористым кремнеземом, полученным в результате гидролиза этилового зфира ортокремневой кислоты и доведенным путем отжига при 350°С до структурного состояния с диаметром пор порядка

4-5 А. Предмет изобретения

Пьезокварцевый адсорбционный .датчик влажности газов, содержащий пьезокварцевый резонатор, покрытый влагопоглощающей пленкой, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и возможности измерения влажности сжатых газов, влагопоглощающая пленка выполнена из цеолита NaA, связанного отожженным тонкопористым кремнеземом.