Устройство для измерения характеристик переходов полупроводниковых приборов Советский патент 1976 года по МПК H01L21/66 

I Изобретение относится к измерительной технике. Устройство может быть использовй нодля :йсследоБания j зависимостей

I n -t{l}, (T}, w tifFJ.

j Известны устройства дпя измерения хара

теристик р-п переходов полупроводниковых приборов, содержапдие задающий генератор {постоянного напряжения, два калиброзанных резистора; параллельно одному из которых включен I прер ьгеатель-для задания тока пря|-К1оугольной формыс постоянной составляю{щей .-HepssB испытуемый переход, л измеритель колебаний напряжения на переходе..

Для извесч нсго устройства харахтерды: - невозможность непосредственного отсчета коэффициента отклонения реальной вольтамперной хара1 теристики р::П перехода от (идеальной диффузионной характеристикл (коэф фициеат гп ) при изменении в широких нре|делах рабочего тока через переход; 1 технические трудности измерения коэф:фициекта rv;. в режиме мгпчротоков; связанные с иеобхо/шмостью использования в качестве ток-:оадающ гх резисторов прецизионных резисторов с многомегомными сопротивлениями; . - значительные погрешности измерения из-за неидентичности характеристик диодов в измер рительном тракте.

Цель изобретения -.обеспечение пепосреаственного отсчета коэффюмента отклонения по шкале измерительного прибора в miipoKOM диапазоне рабочих токов и повышение точности измерений. Достигается она тем, что в| предлагаемом устройстве задающий генара тор выполнек в виде операционного усилителя, на вход которого включены два калиброванных резистора, а | испытуемый переход включен в цепь обратной связи другого./аде) иконного усилитаая; к выходу которого че рез переходной :конденсаТ ор подключены усилитель прямоугольного напряжения с калиброванным коэффициентом |усиленияи измернте| ьнапряжения, прохрадуированный непосред значениях коэффициента отклонения.

На чертеже изображена блок-схема устрой тва, .тируемый электронным прерывателем 4,. и операционный усилитель 5 с внёшними резио TQpoMH 6 и 7 вырабатывают прямоугольное напряжение, наложенное на постоянную составляющую, причем -отношение амплитуды прямоугольного напр5ёкения к постояяной сос4 тавляющей всегда одно и то же. Это напр я- I жение через резистор 8 подается на второй операционный усилитель 9, в цепи обратной связи которого имеются клемш 1| 1О для |0 включения испытуемого р-п перехода. Величина тока через испытуемый р-п переход определяется выходным напряжением операци-; онного усилителя 5 и сопротивлением реаио- тора 8, напряжение опврационно1Х) ks усилителя 9 (.uU ) представляет собой постоянную составляющую прямого падения напряжения на испытуемом переходе, обусловь-. ленную рабочим током. Й1н;аложешюе йа &ее прямоугольное напряжение, обусловленнсю.йо: приращением тока & С Коэффициент отклоне -.- J. т аГ . Прямоугольное напряжение А U через конден-te Сатор 11 поступает на усилитель прямоуголь- ного напряжения 12 с калиброванным коэффициентом усиления и измеритель напряжения 13, шкала которого проградуирована-нёпофедственно в значения коэффициента отклонения §ff М . При коэффициенте усиления усилителя 40, отношении 0,1 и температуре окружающей среды 3. 25 MB/J|| 3f. Показание измер-хтеля напря сения . 13 ( составляет: . .,., Uj,f ди-Ку тп т. - К у - iOO -m jnej. T,Q, Можно получить прямой отсчет к6э$$йциента rrt ./ В диалелане прямых ea р-п переход от 10 нанозмгиуз до погрешность измерения козфф циеита tw превышает 3%, Применеы :,е опис1.:р.аел/;огс1 VCTOOL...гзл. серийном производстве ;):;,ЭВОЛИТ надежность полупроводниковых. прм; JOB s даст.возможность исследовать за.&г (iJ: (,т) , гп-(f), Ф о р VI Jf л а и 3 обре л- е ,: а Устройство дня изменения i-capaKO/ iet-T: р-Г переходов полупроводниковых нрыбс;;- :, например, коэффициента -oficnoiieKHSf .еШ1Ь)Ю: вольтамперной ларактернстики-р - i-:; кioл.. . идеальной диффузио.нной xapaKvapy. содержа цее задающий генератор . -напряженияа два калиброванных ;jeaKf параллельно одиок у иа которых. ;:,;слК: |тронный щрерывательа и измеритель колеог-ни напряжения, на р-П переходе, о я я чающееся тем, что, с делью об&ос.зчения непосредственното отсчета ашзффи.1д.1йнта отклонения по шкале H3 yiepfevenbjv.;iro VNHC: Р и.т)фоком диапазоив рабоч- - вьшения точности йа1лерений;, аа;:;.;:оший ратор -выполнен в Biuji опера/тио,;.| JTV. у .- .ля, на входе; ко1-орого Бюючепы vМИ Зр- ь-::-г ,.. резисторЫ; а сидитель гфямоу . .;л;::,..-.:--L. - .. .жения и измеритель напря-женин подютючен,.. через переходной конденсатор к выходу дру-гого операционного уси.;1ителя,. цепь обратчой связи которого имееч- );лэммы длц 1гс.;клюд :... ния испытуемого р-л перехода.