Е. А. ГаревВАКУУЛ^ Советский патент 1971 года по МПК G01L11/02 

Изобретение относится к приборам для измерения абсолютного давления разреженных сред, имеющих место ири эксплуатации, испытании ii наладке вакуумной техники, а также при измерении Л1алых перепадов давлений.

Известные оптические микроманометры с мембранным чувствительным элементом и онтической системой отсчета не обладают достаточной точностью отсчета.

Предлагаемый микроманометр отличается от известных тем, что верхняя крышка вакуумной камеры выполнена плоской с выступом с двумя параллельно расположенными прозрачными вертикальными стенками, между которыми помещена диафрагма с фасонной прорезью, освещаемой источником света и проецируемой объективом на щкалу.

На чертеже изображен предлагаемый микроманометр. На корпусе / укреплена вакуумнонлотная откачная камера 2, в выступающей части верхней крышки которой имеются два остекленных отверстия 3. Внутри ка.меры укреплен чувствительный элемент 4 с упругой гофрированной мембраной 5, например из бериллиевой бронзы, имеющей линейпую характеристику. На мембране укреплена непрозрачная диаф.ра,гма 6 с фасонной прорезью 7. На верхней крышке камеры укреплены осветитель 8 с электрической лампой 9 и конденсорной части корпуса укреплена лннейная шкала 12 с равномерно нанесенными делениями. л. которую проецируется увеличенное световое изображение фасонной прорези 7, служащее указателем 7,. Камера 2 снабжена выводом 14, чувствительный элемент 4 - выводом 15.

Прибор работает следующим oбpaзo i.

При измерении абсолютного давления к вь:.воду 14 подсоединяется откачивающее устройство, а к выводу /5 - измеряемая . Под действием разности давлений в камере 2 и в чувствительном элементе 4 мембрана 5 прини ает оиределенпое положенпе, отличное от положения в равновесном состоянии. Свет, идущий от ламны 9. уснливается конденсорноГт линзой 10. и пройдя через фасонную прорезь 7, попадает и объектнв // и далее на шкалу 12 в виде увеличенного светового изображения прорези 7, являющегося указателем 13. Положение указателя 13 на шкале 12 строго зависит от положения прорези 7, а следовательно, и мембраны 5, которое, в свою очередь, строго зависит от разности давлений в камере 2 п в чувствительном элементе 4.

Таким образом, каждой величине разности давлений в чувствительном элементе 4 и в камере 2 соответствует свое строго определенное положенпе светового указателя 13 на шкале 12.

В случае измерения перепада давлений прибор работает точно так же. При этом к выводу 14 подсоедиияетея линия с большим давле11пе г, а к выводу /5 - е меньшим.

Пред м е т и з о б р е т е и и я

Вакуумный оптичеекий м 1крома1ИОметр, содержащий вакуумно-плотиую камеру с мембрапиым чувствительным элементом и электрический источник света, отличающийся тем, что. е целью повышения точности и обеснечення линейности шкалы, верхняя крышка вакуумной камеры выполнена плоской с выступом с двумя параллельно расиоложенными прозрачными вертикальными стенками, между которыми номеа1;ена диафрагма с фасонной ирорез1)Ю, oci,eщаемой источником света н ироецируемой об )ективом на шкалу.

8 0 ,56 Л