ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ НУТРОМЕР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДИАМЕТРОВ ОТВЕРСТИЙ ИЗДЕЛИЙ Советский патент 1971 года по МПК G01B11/12 

Изобретение может быть использовано в машиностроительной, приборостроительной, авиационной и топливной промышленностях.

Известен интерференционный нутромер для измерения диаметров отверстий изделий, содержащий коллиматор, ллоские зеркала для разделения световых пучков, микрообъективы, иризму с зеркальными покрытиями граней, вводимую в измеряемое отверстие, и зрительную трубу.

Недостатком известного нутромера является то, что им практически невозможно контролировать отверстия диаметром менее 8 мм. Наименьший диаметр отверстия определяется расстоянием между осями микрообъективов, которое не может быть сделано меньшим 5 мм, так как при дальнейшем уменьшении диаметров объективов освещенность интерференционной картины получается недостаточной.

Цель изобретения - возможность измерения малых диаметров отверстий. Для этого предлагаемый нутромер снабжен разделительными устройствами, выполненными, например, в виде призм-кубов, расположенных так, что оси световых пучков, падающих на призму с зеркальными покрытиями граней, наклонены друг к другл.

установленными перед объективом зрительной трубы, и дополнительной призменной или зеркальной системой, установленной перед объективом зрительной трубы.

На фиг. 1 изображена принципиальная схема предлагаемого нутромера; на фиг. 2- то же, вид сверху.

Нутромер содержит коллиматор, состоящий из источника / света, конденсооа 2, диафрагмы с щелью 3 и объектива 4 коллиматора, зеркала 5 и 6, призмы-кубы 7 и 8, компенсационную пластинку 9, .микрообъективы , призму М с зеркальными покрытиями граней, зеркала 15 и 16, компенсационные клинья 17, приз.мы 18 и 19 Дове, призму-ромб 20, склеенную с прямоугольной, объектив 2 зрительной трубы и сетку 22 окуляэа.

Работает предлагаемый нутро.1ер щим образом.

Выходящий из объектива 4 пучок лучей разделяется зеркалами 5 и на два пучка, образующих между собой угол у. Каждая из призм-кубов пучки лучей разделяют на два пучка, один из которых проходит через нее, а другой отражается ее диагональной поверхностью в направлении зеркал 15 и 16. Микрообъективы 10 и // вместе с призмой 14 про ектируют изображения щелей соответственно на противоположные стенки контролируемого отверстия 23 так, что длинная сторона щелей параллельна образующим отверстая. Микрообъективы 12 и 13 дают такие же изобрал ения щели на поверхноетях эталонных зеркал 15 и 16. Пучки, отраженные от новерхностей отверстия 23 и зеркал 15 и 16, идут обратно по тем же нанравлениям и после соединения призмами-кубами понадают в зрительную трубу. В ходе лучей установлены также нризмы Дове, которые разворачивают наклоненные изображения щелей, делая их параллельными, и призма-ромб, устраняющая параллакс, накладывая зрачки двух интерферометров.

При настроенном нутромере в поле зрения на двух изображениях светяпи1хся щелей видны две системы интерференционных полос в белом свете.

Сравниваемые детали, например контролируемое кольцо и блок концевых мер, поочередно устанавливаются на позиции контроля. При установке блока концевых мер видны прямые интерференционные полосы, а в случае детали с цилиндрическим отвсрст1;см - полосы в форме дуг.

Если раз1меры сравниваемых отверст1п1 по равны, то нулевые полосы смсп аются друг относительно друга. Методика измерения смсщепия полос такая же, как i в известном нутромере. Точность измерения равна 0,1 мкм.

Пред м е т и з о б р е т е н и я

1.Питерференционпый нутромер для измерения диаметров отверстий изделий, содержащий коллиматор, плоские зеркала ДЛ5 разделения световых иучков, микрообъективы, призму с зеркальиыми покрытиями граней, вводимую в измеряемое отверстие, изр.-ь трубу, отличающийся тем, что, с цолью возможности измерения малых диаметров отверстий, он снабжен двумя разделительиыми устройствами, выполненными, H;Iпрнмер, в виде иризм-кубов, расположенных так, что оси световых пучков, надающих на нризму с зеркальными покрытиями граней, наклонены друг к другу.

2.Путромер по п. 1, отличающийся тем, что, с целью новыщения точности измерения, он снабжен призмами Дове, установленными перед объективом зрительной трубы.

3.Р1утромер по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности измерения, 011 снабжен дополнительной иризменной или зеркальной системой, установленной неред обьективом зрительной трубы.

т

%

20

19

fU2.2