МИКРОИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ПОВЕРХНОСТИ Советский патент 1972 года по МПК G01B9/02 

Изобретение относится к области измерительной техники и предназначено для особо, точных измерений смещения контролируемой детали.

Известен микроинтерферометр для измерения линейных перемещений поверхности, содержащий коллиматор с источником света, разделительное устройство, установленное на оптической оси коллиматора, два микрообъектива, установленные за разделительным устройствОМ в рабочей и эталонной ветвях микроинтерферометра, эталонное зеркало, расположенное в фокальной плоскости микрообъектива в эталонной ветви микроинтерферометра, и зрительную трубу.

Предложенный микроинтерферометр отличается от известного тем, что он снабжен олтическим клином с малым углом, перекрывающим половину зрачка одного из микрообъективов и расположенным так, что ребро его перпендикулярно оси этого объектива и параллельно оси второго ми.крообъектива, и компенсадионной плоскопараллельной пластинкой, перекрывающей .половину зрачка второго микроОбъектива.

Такое выполнение позволяет повысить точность измерения.

Микроинтерферометр содержит коллиматор 1 с источником 2 света и отверстием 3, разделительный кубик 4, установленный на оптической оси коллиматора, два микрообъектива 5 и 5, эталонное зеркало 7, размещенное в фокальной плоскости микроинтерферометра, зрительную трубу S, оптический клин 9 с малым углом, .перекрывающий половину зрачка микрообъектива 5 и расположенный так, что ребро его перпендикулярно оси микрообъектива 5 и параллельно оси микрообъектива 6, и .компенсационную плоскопараллельную пластину 10, перекрывающую половину зрачка микрообъектива 6.

Работает микроинтерферометр следующим образом.

Выходящий из объектива коллиматора параллельный .пучок лучей разделяется кубиком на два лучка, которые микрообъектизами 5 и 5 собираются на .поверхности эталонного зеркала и поверхности контролируемой детали 11, образуя изобрал ение светящегося отверстия 3. Отраженные пучки света идут обратно по прежним на.правлениям, соединяются разделительным кубиком и попадают в зрительную трубу, в фокусе которой наблюдают интерференционную картину.

ют перемещением микрообъектива 5 и эталонного зеркала как одного целого.

Оптический клин выводит луч ai из плоскости, Параллельной плоскости чертежа. После обратного прохождения через микрообъектиз 5 луч GI минует оптический клин. В то же время луч bi двукратного прохождения через микрообъектив 5 остается параллельным плоскости чертежа и затем отклоняется оптическим клином. Таким образом, лучи ai и &i образуют с соответственными лучами «з и Ь.2, идущими параллельно плоскости чертежа, одинаковые по величине и обратные по знаку углы, равные углу а, отклонения оптического клина.

В результате на двух половинах зрачка микрообъектива 5 возникают прямые полосы, перпендикулярные к линии раздела зрачка, как это показано на фиг. 2. Ширина /г полос одинакова на обеих половинах зрачка и определяется углом а.

При смещении контролируемой поверхности детали // две системы полос смещаются в противоположных направлениях.

Предмет изобретения

Микроинтерферометр для .измерения линейных перемещений поверхности, содержащий коллиматор с источником света, разделительное устройство, установленное на оптической оси коллиматора, два микрообъектива, установленные за разделительным устройством в рабочей и эталонной ветвях микроинтерферометра, эталлонное зеркало, расположенное в фокальной плоскости микрообъект.ива в эталонной ветви микроинтерферометра, и зрительную трубу, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, он снабжен оптическим клином с малым углом, перекрывающим половину зрачка одного из микрообъективов и расположенным так, что ребро его перпендикулярно оси этого объектива и параллельно оси второго микрообъектива, и

компенсационной плоскопараллельной пластинкой, перекрывающей половину зрачка вто рого микрообъектива.

;0 5 6