ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА Советский патент 1971 года по МПК H01L21/00 

Описание патента на изобретение SU317133A1

Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов.

Известны зондовые головки для электрического зондирования полупроводниковых приборов на пластине, имеющие жесткое соединение зондов с основанием головки. Зонды из бериллиевой бронзы, покрытые сплавом золота с никелем, запрессованы в корпус и выступают из пего на 9,5 мм при толщине зонда 0,15 мм и ширине рабочего конца 0,08 мм. Зонды имеют плоскую клиновидную форму с изгибом и раздвоением на щироком конце клина. Раздвоенная часть зонда соединена с одним или двумя выводами в изоляции или без нее, так что часть выводов оказывается запрессованной в пластмассовый корпус. Оси зондов наклонены по отнощению к плоскости контролируемой пластины с целью облегчения возможности совмещения зондов с зондируемыми точками на пластине под микроскопом. Число зондов соответствует числу зондируемых точек на пластине. Острия зондов спланированы в плоскости, совпадающей с плоской поверхностью контролируемой пластины.

Однако в известной зондовой головке зондируемые точки полупроводникового прибора могут располагаться только по его переферии, а число их не превышает 60. Кроме того, выступающая из основания часть зондов составляет примерно 9,5 мм, а толщина 0,15 мм, так что возмол на деформация зондов и как следствие этого -нарушение контакта с зондируемой поверхностью и электрическое замыкание между зондами.

Цель изобретения - повышение надежности зондовой головки и надежности измерения параметров приборов.

Поставленная цель достигается тем, что

система электрического соединения зондов с измерительным устройством выполнена в виде металлических полос, нанесенных на плоскую поверхность корпуса, а высота зондов, расположенных на поверхности металлических полос, составляет 50-100 мкм, причем острия их расположены в плоскости, совпадающей с плоскостью расположения контактных площадок полупроводниковых приборов на пластине.

Конструкция предлагаемой зондовой головки показана на чертеже (головка перевернута рабочей поверхностью вверх).

Корпус / выполнен из диэлектрика. Для обеспечения совмещения зондов с зондируемыми точками на полупроводниковом приборе корпус делают из прозрачного материала, например, из стекла. С той же целью на поверхность корпуса наносят метку, контуры которой совпадают с контурами соответствующей

BOM приборе или образуют некоторый зазор между ними.

На тщательно отполированную рабочую поверхность корпуса / нанесены металлические полосы 2 шириной 80-100 мкм. Полосы могут быть нолучены путем вакуумного напыления металла па поверхность стекла. Напыляемым материалом может служить хром, ванадий, обладающие достаточной электропроводностью и имеющие хорошую адгезию к стеклу. Метка для совмещения может быть вынолнена в том же процессе напыления и фотогравировки напыленного металла. Толщина металлических полос 2 составляет 10- 20 мкм. В случае изготовления металлических полос 2 вакуумным напылением (с учгтом малых размеров корпуса зоидовой головки) толщина отдельных полос отличается не более чем на несколько десятых микрона.

С поверхиостью металлических полос 2 жестко скреплены зонды 3, имеющие форму пирамиды или конуса. Зонды могут быть изготовлены путем гальванического осаждения с предварительным покрытием поверхности корпуса 1 и металлических полос 2 слоем кварцевого стекла, в котором плавиковой кислотой вытравлены окна над металлическими полосами. В этом случае гальваническоеосаждеиие металла, например, вольфрама или молибдена, производится на поверхность металлических полос 2 в пределах, ограниченных контурами окна, и не производится осаждеиие на поверхность кварцевого стекла. По окончании изготовления зондов 3 кварцевое стекло может быть сохранено на поверхности зондовой головки для электрической изоляции металличесчих полос 2. В этом случае необходимо удалить его только в местах электрических контактов проводов, соединяющих зоидовую головку и измерительное устройство с токоведущими металлическими полосами 2.

В зависимости от контуров основания зонды имеют форму правильной пирамиды или правильного конуса. Высота зондов не превышает 50--100 мкм. В силу размещения зондов на отдельных металлических полосах, имеющих практически одинаковую толщину и располагающихся иа тщательно отполированной поверхности корпуса, острия зондов находятся в одной плоскости.

Поскольку металлические полосы 2, с которыми жестко скреплены основания зондов 3,

выполняются обычными приемами напыления и фотогравировки, возможно любое взаимное расположение зондов. Из-за малых размеров площади основания зондов, связанной с высотой зондов, можно создать любое необходимое число зондов иа корпусе головки. Плотность их взаимного расположения практически ограничивается сиособностью существующих методов фотолитографии и величиной допустимого напряжения, подаваемого на зонды, при котором исключается возможность электрического замыкания между зондами.

Благодаря правильной пирамидальной или конусообразной форме зондов и их малой высоте, а также жесткому соединению зондов с корпусом устраняется опасность деформации зондов, а применяемые для их изготовления материалы (молибден, вольфрам) обеспечивают продолжительный срок службы зоидовой головки.

Зоидовая головка пригодна для проверки электрических параметров большого числа диодов, транзисторов и интегральных схем на пластине.

Предмет изобретения

1.Зондовая головка для измерения электрических параметров полупроводниковых приборов на пластине, состоящая из диэлектрического корпуса, металлических зондов, жестко скрепленных с корпусом, число которых соответствует числу зондируемых точек на приборе, и системы электрического соединения зондов с измерительным устройством, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности конструкции и надежности измерения нараметров приборов, система электрического соединения зондов с измерительным устройством выполнена в виде металлических полос, нанесенных на плоскую поверхность корпуса, а высота зондов, расположенных на поверхности металлических полос, составляет

50--100 мкм, причем острия их расположены в плоскости, совпадающей с плоскостью расположения контактных площадок полу-проводниковых приборов иа пластине.

2.Зондовая голозка по п. I, отличающаяся тем, что корпус зондовой головки выполнен из

прозрачного для видимого света диэлектрика, например, стекла.

Похожие патенты SU317133A1

название год авторы номер документа
ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА 1990
  • Баринов Константин Иванович
  • Васильев Геннадий Федорович
  • Власов Владимир Евгеньевич
RU2035131C1
ЗОНД ДЛЯ ЛОКАЛЬНОГО АНОДНОГО ОКИСЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ 2009
  • Мешков Георгий Борисович
  • Синицына Ольга Валентиновна
  • Яминский Игорь Владимирович
RU2383078C1
Зонд для сканирующей зондовой микроскопии и способ его изготовления (варианты) 2017
  • Синев Иван Сергеевич
  • Мухин Иван Сергеевич
  • Самусев Антон Кириллович
  • Макаров Сергей Владимирович
  • Комиссаренко Филипп Эдуардович
RU2660418C1
Контактирующая головка для проведения четырёхзондовых измерений 2021
  • Насонов Андрей Юрьевич
  • Хуснуллин Антон Шамильевич
  • Чернядьев Андрей Юрьевич
  • Шухтин Кондратий Петрович
RU2778212C1
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ МЕТАЛЛИЧЕСКИЙ ЗОНД ДЛЯ СКАНИРУЮЩИХ ПРИБОРОВ 2015
  • Гиваргизов Михаил Евгеньевич
RU2610040C1
ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ КРИСТАЛЛОВ 1981
  • Темнов А.М.
RU2076392C1
ОСТРИЙНЫЕ СТРУКТУРЫ, ПРИБОРЫ НА ИХ ОСНОВЕ И МЕТОДЫ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЯ 2000
  • Гиваргизов Е.И.
  • Гиваргизов М.Е.
RU2240623C2
Измерительный зонд и способ его изготовления 2017
  • Бородзюля Валерий Флорианович
  • Мошников Вячеслав Алексеевич
  • Пермяков Никита Вадимович
RU2654385C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЗОНДА ДЛЯ БЛИЖНЕПОЛЕВОЙ СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЙ МИКРОСКОПИИ 2011
  • Усанов Дмитрий Александрович
  • Горбатов Сергей Сергеевич
  • Кваско Владимир Юрьевич
RU2475761C2
ЗОНДОВЫЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ КВАРЦЕВОГО РЕЗОНАТОРА ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА 2005
  • Соколов Дмитрий Юрьевич
RU2297053C1

Иллюстрации к изобретению SU 317 133 A1

Реферат патента 1971 года ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА

Формула изобретения SU 317 133 A1

SU 317 133 A1

Даты

1971-01-01Публикация