СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕРМОКОМПЕНСИРОВАНИЫХ ОДНОНИТЕВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ Советский патент 1971 года по МПК G01B7/16 

Изобретение относится к электротензометрии и может быть использовано при производстве тензорезисторов с одиночной нитью из литых Микронроводов.

Известен способ темнературной комненсации тензорезисторов с одиночной нитью, заключающийся в том, что чувствительный элемент соединяют с концами термочувствительного элемента, длина и сечение которого известны.

Однако термокомненсация таких тензорезисторов представляет серьезные трудности и не всегда является возможной из-за малого нонеречного сечения чувствительного элемента (3-5 мкм).

Целью предлагаемого способа является термокомпенсация тензорезнсторов при их изготовлении, что новышет точность измерения.

Термокомненсация тензорезисторов предлагаемым способом асун1ествляется путем напыления в вакууме на чувствительный элемент слоя термочувствительного материала.

На чертеже ноказана схема для осуществления предлагаемого способа.

На рещетку из токопроводов / натягивают отрезки микропровода 2. Затем па участки

микронровода, равные 0,2 его длины, напыляют слой 3 металла, например никеля, диаметр покрытия которого определяется но формуле:

-21/- + . V .У

где р-удельное сонротивленне никеля, / - радиус микронровода, R - сопротивление покрытия, / - длнна участка

Изменяя длину участка покрытия и ее -юлщину, можно нолучнть термокомненснрованные тензорезпсторы для различных материалов.

П р е д мет н з о б р е т е н и я

Способ изготовления термокомненсирован ных одноннтевых тензорезпсторов, заключат нднйся в том, что чувствнтельный элемент соединяют с термочувствительнрлм элементом, оглимающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, термочувствительный элемепг выполняют в виде иапылеиного слоя, ианесеиного на чувствительный элемент.

,/