ДВУХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДИАМЕТРА Советский патент 1971 года по МПК G01B11/08 

Изобретение относится к области линейных измерений и может быть использовано для аттестации и поверки ооразцовых колец, применяемых в шарикоподшипниковой промышленности, дизелестроении, самолетостроении, станкостроении и т. п.

Известен двухлучевой интерферометр для измерения диаметра отверстия детали, содержаш.ий осветитель, светоделительную пластину, делящую световой поток на две ветви - рабочую и эталонную, отражаюш,ии элемент, установленный в рабочей ветви, и регистрирующую систему.

Предлагаемый интерферометр отличается от известного тем, что, с целью повышения точности Ирасширения пределов измерения, отражающий элемент выполнен в виде усеченного конуса с прямым углом при вершине.

На фиг. 1 изображена оптическая схема предлагаемого интерферометра; на фиг. 2-: интерференциальная картина в ноле зрения.

Интерферометр содержит осветитель (на чертеже не изображен), коллиматор с объективом / и щелью 2, светоделительную пластину 3, неподвижное плоское зеркало 4, отражающий элемент - непрозрачный усеченный конус 5 с зеркальными отражающими поверхностями, объектив 6, выходную щель 7 и регистрирующую систему (на чертеже не показана).

Лучи света, идущие от источника света, iipoib дя коллиматорную щель 2 и объектив 1, становятся параллельными, так как щель находится в фокусе объектива 1. Параллельный пучок

5 света падает на светоделительную пластину У, где он разделяется на два пучка (две ветви). Один пучок света отражается от светоделительной поверхности пластины J и падает по нормали на плоское зеркало 4. Затем этот

0 пучок света, отражаясь от зеркала, проходит Б обратном направлении через светоделительную пластину и собирается объективом 6 в плоскости выходной щели 7. Второй пучок света проходит через светоделительную пластину 3, падает на боковую поверхность и поверхность верхнего основания усеченного конуса 5. Часть пучка, падающая на боковую поверхность, отражается от нее и в радиальном направлении падает на измеряемую поверхность детали 8. Далее этот пучок света, отражаясь последовательно от измеряемой поверхности детали и боковой поверхности конуса, вместе с частью пучка, отраженного от верхнего основания усеченного конуса, возвр ащает5 ся обратно к пластине 3, отражается от ее поверхности и собирается нри помощи объектива 5 в плоскости выходной щели 7. Оба пучка света, имеющие разность хода, интерферируют между собой. Система из внутренней цилинд