Интерферометр для контроля измененияАбЕРРАций лиНз и зЕРКАл пРи зАКРЕплЕНиииХ B ОпРАВы Советский патент 1981 года по МПК G01B9/21 

Поставленная цель достигается тем, что плоское зеркало рабочей ветви выполнено ножевидным, а в качестве регистрирующего устройства использована голограмма. На чертеже изображена принципигш ная оптическая схема предлагаемого интерферометра. Интерферометр содержит последовательно расположенные лазерный источник 1 света, телескопическую систему 2, микрообъектив 3 и первый светоделитель 4, направляющий световой поток в два пучка - рабочий и опорны плоское ножевидное зеркало 5, входящее в рабочую ветвь, отрицательную линзу б, сканиругадее зеркало 7, второй светоделитель 8, вспомогательное зеркало 9, объективы 10 и 11, зэркало 12, полупрозрачную пластину 13, регистрирующее устройство - голограмму 14. Интерферометр работает следующим образом. I Вышедший из лазерного источника 1 света узкий пучок с помощью телескопической системы 2 расширяется до необходимого размера, проходит микрообъектив 3 и направляется на первый светоделитель 4, светоделительной гранью которого делится на два пучка - рабочий и опорньай. Рабо чий пучок после отражения от плоского ножевидного зеркала 5 и св тоделительной пластины 8 направляет ся на контролируемую линзу 15, проходит ее и отражается от.вспомогательного зеркала 9. Интерферометр настраивается так, что фокус микрообъектива 3 совмещается с фокальной плоскостью контролируемой линзы 15. В этом случае лучи, выходящие из линзы 15, наиболее приближаются к параллельному ходу и после отргикения от вспомогательного зеркала 9 возвращаются в обратном направлении На обратном пути они, минуя плоское ножевидное зеркало 5, последователь но попадают на объектив 10 зеркало 12, полупрозрачную пластину 13, голограмму 14. Чтобы обеспечить раз деление хода рабочего пучка в прямо и обратном направлении и свести к минимуму угол наклона главного луча к оси контролируемой линзы 15, плос кое зерксшо 5 выполнено ножевидным, причем острая кромка на его отражаю щей поверхности совмещена с фокальной плоскостью микрообъектива 3. Опорный пучок после отражения от светоделительной грани первого светоделителя 4 попадает на линзу б с отрицательным фокусным расстоянием, затем на сканирующее зеркало 7, про ходит светоделительную пластину 8, контролируемую линзу 15 и собираетс на вспомогательном зеркале 9.. Фокусирование опорного пучка на порерхность этого зеркала 9 осуществляется осевым перемещением линзы 6. Отражающая поверхность вспомогательного зеркала 9 установлена перпендикулярно оси опорного пучка. После отражения от нее опорный пучок возвреццаётся в обратном направлении, проходит первый светоделитель 4, объектив 11, полупрозрачную пластину 13 и попадает на голограмму 14, где пересекается и интерферирует с рабочим пучком. Плоскость голограммы 14 оптически сопряжена со зрачком контролируемой линзы 15. Объективы 10 и 11 устанавливаются в положение, при котором они обеспечивают выход из них параллельных пучков. До закрепления контролируемой линзы 15 в опоре производится запись голограммы 14. в плоскости гологрг1ммы 14 регистрируется волновой фронт, двс1жды прошедший через контролируемую линзу 15. После экспозиции, химической обработки и сушки голограмма 14 устанавливается на прежнее место, а контролируемая линза 15 закрепляется в оправе. Изменения формы обеих поверхности и натяжений в стекле, возникшие при закреплении контролируемой линзы 15 в оправе, вызывают изменение формы волнового фронта и, следовательно, искривление наблюдае1 мх в плоскости голограммы интерференционных полос. Чувствительность и погрешность ин терферометра практически мало зависит от величины аберраций линзы и от формы ее поверхностей. В связи с этим интерферометр пригоден для контроля линз с плоскими, сферическими и асферическими поверхностями. На нем можно также проверять деформации вогнутых сферических и асферических (с небольшим отступлением от Сферы) поверхностей. Методика проверки аналогична описанной за исключением того, что в этом случае не требуется применения вспомогательного зеркала. Автоколлимационный ход лучей обеспечивается при расположении фокуса объектива 3 вблизи центра кривизны контролируемой детали. Изобретение позволяет значительно сократить время сборки крупногабаритных оптических систем и улучшить качество изображения. С помощью Предлагаемого интерферометра деформсщии линз можно обнаружить и устранить на первой стадии сборки. Кроме того, при испытании зеркал . на термические и другие виды деформаций от поверхностей зеркал не требуется высокого качества. Формула изобретения Интерферометр для контроля изменения аберраций линз и зеркаш при закреплении их в оправы, содержащий последовательно расположенные лазерный источник света, телескопическую систему, микрообъектив, светоделитель, направляющий световой поток в две ветви - рабочую и опорную, и плоское зеркало, входящее в рабочую ветвь, регистрирующее устройство, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля и расширения диапазона типов проверяемых линз и зеркал, плоское зеркало рабочей ветви выполнено ножевидным, а в качестве регистрирующего устройства использована голограмма. Источники информации, с принятые во внимание при экспеотизе

1.Патент США 3799673, кл. G 01 В 9/02, 1974.

2.Авторское свидетельство СССР 529362, кл. G 01 В 9/02, 1976

д (прототип).