ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК Советский патент 1971 года по МПК C23C14/24 

Изобретение относится к области нанесения иокрытий в вакууме.

Известен иснаритель для вакуумных установок, содержащий нагревательный элемент и распыляемый стержень с держателем, опирающийся на опорную площадку.

Цель изобретения - обеспечить равномерность распыления материала.

Для этого стержень выполнен с конусным наконечником, свободно опирающимся острым концом на опорную площадку.

На чертеже представлен предлагаемый испаритель, общий вид.

Он имеет нагревательный элемент / и расныляемый стержень 2 с держателем 3. Стержень 2 выполнен с конусным наконечником, свободно опирающимся острым концом на опорную площадку 4. Нагревательный элемент 1 обхвачен экраном 5. Нагревательный элемент и экран установлены на керамическом основании 6, полость между нагревательным элементом и экраном соединена с рабочим объемом вакуумной камеры.

В корпусе нагревательного элемента / ъыполнены отверстия для прохождения пара распыляемого материала. Благодаря конусной конфигурации стержня в зоне радиационного нагрева сублимация материала идет с образующей поверхности конуса, включая его острие. Ноэтому по мере испарения острие смещается по оси стержня, причем под действием веса стержень постепенно опускается в нагревательную зону. Нри этом геометрические размеры конуса практически не изменяются, в силу чего не изменяется н стабильность потока пара.

Предмет изобретения

Испаритель для вакуумных установок, содержащий нагревательный элемент и распыляемый стержепь с держателем, опирающийся на онорную площадку, отличающийся тем, что, с целью обеспечения равномерности распыления, стержень выполнен с конусным наконечником, свободно опирающимся острым концом на опорную площадку.