УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НЕЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН Советский патент 1972 года по МПК G01L1/18 

Изобретение относится к измерительной тех«ике, ,в частности к устройствам для измерения неэлектрических величин, например давления.

Из1вестны устройства для измерения «еэлектричбоюих величин, например давления, содержащие корпус, шток и пружину с тензорезисторами.

Однако такие устройства осуществляют недостаточио точные измерения и имеют значительные габариты.

С целью повыщения точиасти « уменьшения габаритов в предложенном устройстве пружи а выполнена в виде плоского диска, с наружной 1й внутренней У-образвьими лрорезями, образующими три балки равного сапротивления, «а которые нане1сены полупроводниковые тензор езисторы.

На чертеже поКазаио предложенное устройство.

Устройство содержит корпус /, сильфон- 2, штОК 3 и пружину, .выполненную (В виде плоского диска 4, например из сапфира, с наружной и внутренней V-образными прорезями 5, образующими три балки Б, В vi Г равного сопротивления, на которы.х нанесены, например, с помощью iOpoueccoB гетероэпитаксиального наращивания и фотолитографии, полупроводниковые тензорезисторы 6.

Работает устройство следующим образом.

При изменении, например, давления в контролируемой среде, пзменяется деформация сильфона, и через шток происходит деформация диска, вследствие чего изменяются паралгетры тензорезисторов.

Предмет изобретения

Устройство для измерения неэлектрических величин, например давления, содержащее корпус, шток и пружину с тензорезисторами, отличающееся тем, что, с целью повышен1ия точности и уменьшения габар1итов, пружина выполнена в виде плоского диска, с наружной и внутренней V-образными прорезями, образующими три балки равного сопротивления, на которые нанесены полупроводниковые тензорез-исторы.