УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НЕЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН Советский патент 1972 года по МПК G01K7/22 G01P15/08 

Изобретение ютиасится к области измерения электрическими способами тем пературы « других неэлектрических величин, таких, например, как давление, сила, ускорение, перемещение и т. п.

Известны интегральные упруго-чувствительные элементы В виде балочек и диафрагм (в качестве Несущей «онотрукции) из моноздристаллов полупроводвиков и диэлектриков, fla которых выполнены диффузионные или эпитаксиальные элементы с выводами. Эти элементы являются чувствительными областями балочки, т. е. .преобразуют измеряемую величину в изменение сопротивления, которое регистрируется электрическими способами.

Известные элементы обладают сле1дующими недостатками: при монтаже электросхемы датчика и сборке интегрального элемента с корпусом :неизбеж1ны Мелкие ручные операции, требующие высокой квалификации; для каждого типа датчика конструируется и изготовляется индивидуальный элемент, что не соответствует со1в|ременным требованиям унификации узлов приборов.

С целью унификации, ловышения точности из мерений, надежности работы и упрощения устройства чувствительный элемент цредлагае.мого устройства выполнен в виде язычка, образованного криволинейной ирорезью в пластине монокристалла, периферийная часть которой

служит для закрепления ее в корпусе. Такой элемент является унифицированным, поскольку может быть использован в датчиках для из.меренИя различных неэлектрических величин,

при этом в зависимости от назначения датчика меняется лишь конструкция его корпуса.

На чертеже приведена конструкция предлагаемОго устройства. Предлагае.мое устройство состоит ИЗ чувствительного элемента /, выполненного в виде язычка, образованного криволинейной прорезью 2 в пластине 3 монокристалла.

На обеих сторонах чувствИтелыного элемента но интегральной технологии выполнена полупроводниКОвая схема 4, от которой выведены напыленные металлические дорОЖки 5, оканчивающиеся «пятачками 6.

Периферийная часть защищает чувствительный элемент и создает идеальное соедИНеиие

его С корпусом датчика (на чертеже не показан) благодаря отсутствию Трения, слшмающих сил, различию коэффициентов термического расщиренИя. Для усиления сигнала, регистрируемого

полупроводниковой схемой при изменении измеряемой величины, на кольце изготавливается по нланарной технологии полупроводниковый усилитель. Предлагаемая конструкция позволяет автопри его сборке, поскольку положение унифицироваиного элемента фиксируется в корлусе, .а расположение конечных «пятачков на кольце строго одинаково; чувотв ительный элемент защищен периферийной частью пластины от повреждений во время изготовления; чув ствительный элемент идеально закреплен в корпусе; без -пережимов, трения и концентраций напряжения; элемент является унифицирован«ым.

Применение «нтетральной TexHOvTOfHH позволило создать Миниатюрную конструкцию, причем предел м-и-ниатюризации еще не дости1гиут.

Предмет изобретения

Устройство для -измерения иеэлектричеоких величиН,содержащее чу1вствитель ный элемент, расположенный в «-арпусе и вы-полиен ый и: пластины Монокристалла, и измерите.пьну10 схему, Нанесенную «апылением на ее поверхности, отличающееся тем, что, с целью унификации, повышения точности измвреи-ий, надежности работы и упрощения устройства, в «ем чувствителыный элемеит выполнен в виде язычка, обраэоваиного кривОЛИнейной прорезью в пластине монокристалла, периферийная часть которой служит для закрепления ее в корпусе.