ПЕНТНО-ТСХШЕСКАЯ]БИБЛИОТЕКА Советский патент 1972 года по МПК G01B9/02 G01B11/26 

Предлагаемая система относится к измерительной технике и может быть использована преимущественно для измерения малых угловых перемещений.

Известна интерференционная система для измерения угловых перемещений объекта, содержащая источник света, двухлучевой интерферометр с отражательным блоком, выполненным в виде укрепленной на объекте пары подвижных зеркал, и приемное устройство.

Недостатком известной системы является неустойчивость интерференционной картины вследствие влияния вибраций, вызывающих взаимные перемещения интерферометра и блока, связанного с объектом.

Возникающие колебания интерференционной картины относительно приемного устройства снижают точность измерения.

Предлагаемая система отличается от известной тем, что, с целью повышения точности измерения, отражательный блок дополнительно имеет пару неподвижных зеркал, выполненных, как и подвижные, двугранными, и укрепленных на неподвижной части блока, а система снабжена укрепленными в -интерферометре опорными зеркалами ;и отклоняющими зеркалами для осуществления оптической связи между накрест лежащими зеркалами отражательного блока, при этом расстояния между верщинами углов обеих пар зеркал

отражательного блока равны между собой, а их ребра и плоскости, проходящие через эти ребра, взаимно параллельны.

На чертеже изображена интерференцион,ная система в аксонометрической проекции.

Предлагаемая система содержит источник света 7, двухлучевой интерферометр, включающий в себя светодел.ительную пластину 2, поворотные зеркала 3 и 4, подвижные двугранные зеркала 5 и 6, укрепленные на кон.цах коромысла 7 и жестко связанные с измеряемым объектом 8, отклоняющие зеркала 9-12, укрепленные на интерферометре, неподвижные двугранные зеркала 13 и 14, связаниые с неподвижной частью блока, опорные зеркала 15 и 16, укрепленные на интерферометре, и приемное устройство 17.

Зеркала 5, б и 13, 14 образуют отражательный блок.

Работает предлагаемая система следующим образом.

Параллельный пучок света от источника света / делится светоделительной пластиной 2 на две ветви, которые с номощью зеркал 3

и направляются на подвижные двугранные зеркала 5 и 5. Затем с помощью зеркал 9-12 оба пучка направляются на накрест лежащие по отношению к зеркалам 5 и б неподвижные двугранные зеркала 13 и 14. За