СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНО НАНОСИМЫХ НА ПОДЛОЖКУ СЛОЕВ ДИЭЛЕКТРИКОВИ МЕТАЛЛА Советский патент 1972 года по МПК G02B5/28 

Известны способы контроля толщины последовательно наносимых на подложку слоев диэлектриков и металла с определением толщин диэлектрических слоев по измерению пропускания на длине волны Ль соответствующей наибольщему отражению диэлектрического покрытия. Измерения производятся с помощью фотоэлектрического устройства.

Предложенный способ отличается от известных тем, что контроль пронускания при нанесении слоя металла ведут на длине волны А.2, соответствующей области высокого пропускания диэлектрического покрытия и момент достижения заданной толщины слоя определяют по достижению минимального значения разности пропускания на длинах волн Ki и kzПредложенный способ позволяет повысить точность контроля.

Для этого подложки, на которые требуется нанести миогослойное нокрытие, образующее спектроделитель, помещают в вакуумную камеру. По одной из подложек.в процессе панесения веществ (например, путем их термического испарения) нроизводится контроль толдин слоев покрытия с помощью фотометрического устройства. На эту подложку нанравляют лучистый поток от источника, например лампы накаливания. Поток, прощедщий через образец, проектируют на входную щель монохроматора, расположенного вне вакуумной камеры. Выделенный монохроматором поток заданного спектрального состава нанравляют на приемник лучистой энергии, напрнмер фотоумнолситель. Сигнал, возникающий на приемнике, подают на регистрирующее устройство, показания которого линейно связаны с пропусканием образца.

Сначала на подложку наносят днэлектрическое покрытие, состоящее из чередующихся

четвертьволновых слоев с высоким и низким показателями нреломлення. Контроль днэлектрпческнх слоев производят на длнне волны ч, соответствующей наибольшему отраженЕно диэлектрического нокрытия. После нанесения диэлектрического покрытия форма спектральной кривой отражен1 я в рабочей области оказывается в основном сформированной, а кривая пропускания в этой же области обладает резкой селективностью. Для выравниваиия в рабочей области кривой пронускания до нейтрального состояпня на диэлектрическое покрытие наносят слой металла, например хрома или титана. При этом монохроматор перестраивают так, что на нриемник попадает свет

длиной волиы t2, соответствующей области высокого пропускания диэлектрического покрытия. Панесение слоя металла заканчивают, когда пропускание иокрытия на длиие волны 12 становится равным его пропусканию на 3 Предмет изобретения Способ контроля толщины последовательно наносимых на подложку слоев диэлектриков и металла с определением толщины диэлектри-5 ческих слоев по измерению пропускания на длине волны Я,ь соответствующей наибольщему отражению диэлектрического покрытия, от4личающийся тем, что, с целью повышения точности, контроль пропускания при нанесении слоя металал ведут на длине волны А,2, соответствующей области высокого пропускания диэлектрического покрытия, и момент достижения заданной толщины слоя определяют по достижению минимального значения разности пропускания на длинах волн Ki и Kz.