ТЕКНИЧЕГКДП FHSAliOT^KA Советский патент 1972 года по МПК H05H7/00 H01J47/00 

Изобретеиие относится к способам исследования пучков заряженных частиц.

Известный способ исследования газовой компенсации электронного пучка применяют для нокояи1,ихся пучка и газа.

Предлагаемый сиособ позволяет исследовать параметры пучка в поперечном потоке газа. Для этого пучок электропов отклоняют в среде покоящегося газа с регулируемой скоростью относительно покоящегося газа и регистрирующих электроны устройств.

Сиособ поясняется чертежом.

Формирование электронного нучка и управление им осуществляют электроннолучевой пущкой, состоящей из катода /, прикатодиого фокусирующего электрода 2, анода 3, системы 4 магиитной фокусировки и отклопяющеГ электромагнитной системы 5.

Пучок сфокусированных электроно с помопдью оиорного тока отклоняюнюй систеМ1)1 5 устанавливается в одном из Kpaiu-nix положений. Затем от источника питания через электронный коммутатор импульс тока с заданной длительностью нарастания переднего фропта подается на отклоняющую электромагнитную систему 5. В результате электронный пучок перемещается из одного крайнего положспия в другое. Перемещаясь, электронпый нучок пересекает из.мернтельпые зоиды 6, в цени которых имеются сопротивления, позволяющие фиксировать с поМОЩЬЮ электронного осциллографа зоидовые характеристики нонеречного сечения пучка последовательно на зонде. Два н более зоида позволяют одновременно определять скорость нонеречного перемещения пучка отиосительно покоящихся газов н зондов. Электронный нучок улавлнвается экраномколлектором 7.

Длина нучка заряженных частиц в несколько десятков раз больше расстояния между из.мерительнымн зондами, поэтому неремещенне пучка относительио измерительных устройств можно считать поступательным.

По расстоянию между зондамн и времени между пиками зондовых характеристик определяют скорость иоиеречного перемещения электроииого пучка. Сигналы с зондов позволяют найти параметры иучка заряже)1ных частиц: эффективный радиус, распределение тока по сечению иучка, удельную .мощность, степень комненсации пространственного заряда в зависимости от поперечного перемещения пучка отпосптельпо покоящихся газов.

Отклонеппе пучка одиночными имнульсами с больгиой скважностью исключает влияние на пучок ранее возникщих вторичных заряженных , что нмеет место в случае сканировання или колебания первичного пучка в одпой плоскости с высокой частотой.

П р с дм ет II 3 о б р с т с п и я

Способ исследования газовой комисисацпи электронов, отличающийся тем, что, с целью измерения параметров пучка в по;iene4i OM потоке газа, пучок электронов отклоняют и среде нокояпхегося газа с регулиpyeMoii скоростью относительно покоящегося газа н регистрирующих электроны устройств.

S4viiS-:iJS5. ,;V f.; -Г