УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ РАЗВЕРНУТОГО ПУЧКА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ Советский патент 1974 года по МПК H01J47/00 H05H7/00 

Изобретение отпосится к области ускорительной техники и может быть использовано для из.мерепия па1раметров развернутого лучка заряженных частиц.

Известно устройство, позволяющее пропзвадить Измерение тока нучка заряженны.х частиц, Например вторичноэмиссионный монитор тока, содержащий эмиттирующий и собирающие электроды-фольги и прибор для измерения тока пучка, который ири соответствующем увеЛИЧ6ПИИ размеров электродов может производить измерение тока пучка заряженных частиц, раз1вернутых по заданному полю облучения. Однако такой вторичноэмиссионный монитор не позволяет одновременно коитролировать энергию частиц.

Предлагаемое устройство позволяет одиовремешю производить измерение параметров тока пучка и контроль энергии заряженных частнц. Для этого фольгу эмиттируюн;его электрода разрезают «а три части, причем две крайние части фольги электрически изолированы от средней, соединены мелоду собой н с прибором для измерения тока пучка, а средняя часть фольги соеднаюна с Прибором для измерения тока пуч.ка через .арибор для измерения тока частиц, прошедши.х через среднюю часть фольги.

одновременно для контроля энергии заряженных частиц, развернут1 1х ио полю облучения, имеющему, нанрнмер, форму полосы; на фиг. 2 - разрез но А - А на фиг. 1.

Устройство содержит пучок заряженных частиц 1, устройство 2 для развертки пучка по нолю облучения, вакуумную .камеру 3, выходное окно 4, собирающие электроды 5, эмиттирующнй электрод 6, нсточник 7 напряжется, oxpaiHHbie электроды 8, изоляторы 9, э дектрический ввод 10 для собирающих электродов, электрические вводы 11 для э.миттирующего электрода, измерительные приборы 12 и 13.

Устройство работает следующи-м образом.

Пучо:к заряженных частиц 1 развертывается, наиример, -при иомощи ностоянных или неременных Магнитных полей устройства 2 в уз1кую длинную полосу. Развернутый нучок пропизывает собнраюии1е5 н эмиттпрующнй 6 электроды-фольги. Вторичные электроны, эмиттируемые с электрода 6, иод действием напряжения источника 7 Собираются электродами 5. В результате этого через измерительный нрибор 13 протекает ток, образованный вторичными элактронам:и, эмиттируемые со средней части фольги эмиттирующего эле(ктрода б, а через измерительный прибор 12 нротекает ТОК, образованный вторичными электронами, э.миттируемыми со всех трех частей фольги

я«.

электрода 6. Следовательио, при шомощи электрического ввода 10 измеряется полный ток пучка заряжен ных частид, а сра-виепие сил11ало1в измерительных приборов 12 и 13 при пензмоииом режиме работы устройства 2 даст сведения об изменении энергии заряженных частИЦ. Таким образом, при одном и том же таке лучка заряженных частид уменынение сипиала измерительного прибора 13 будет свидетельствовать об уманьшеини энергии заряжеииых частид, так как заряженные частицы ма.гнииныМ иолем ycTpoiicTBa 2 развертываются в более длинную полосу. Увеличение же сигнала измерительного прибора 13 будет свидетельствовать об увеличении энергии заряженных частиц, так как заряженные частицы -магнитныл полем устройства 2 развертываются в иолосу маиьшей длииы.

- ,

f iftf

Предмет изобретения

Устройство для измерения параметрО|В развернутого лучка заряжеиных частиц, содержащее эмиттирующий и собирающие электродыфольги и прибор для измерения тока пучка, отличающееся тем, что, с целью осуществления одновремеиаого контроля энергии заряженных частиц, измерения тока частиц и облучения,объектов, в устройство введен второй измерительный ирибор,а фольга эмиттирующего электрода разрезала )на три части, причем две крайние фольги электрически изоЛ1иро:ва-ны от средней, соединены между собой и с прибором для измерения тока пучка, а средняя часть фольги соединена с прибором для измерения тока пучка через второй измерительный прибор.

Фиг. 2