ПРИБОР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА МЕТАЛЛИЧЕСКИХ И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОКРЫТИЙ Советский патент 1972 года по МПК G01N21/17 

Предлагаемый прибор для контроля качества металлических в полупроводниковых покрытий предназначен для обнаружения скрытых дефектов в проводящем слое путем исследования теплового поля деталей при протекаНИИ по их проводящему покрытию электрического тока.

Оп может быть использован в электро- и радиотехнической промышленности для дефекгоскопиии резисторов, микросхем, например пленочных, металлических покрытий на пластмассовых деталях и т. д.

Известны приборы для контроля качества проводящих покрытий, работающ-ие по принципу последовательной регистрации теплового (нфракрасного) излучения отдельных участков покрытия, разогретого протекающим по этому покрытию током, например прибор для контроля качества металлического покрытия резисторов.

Этот прибор содержит фокусирующую онгическую систему для инфракрасной области спектра, модулятор, инфракрасный приемник, электронную схему для усиления, детектироваНИН и регистрации выходного сигнала инфракрасного примника, а также механическую систему сканирования.

электронного узлов, а также сложность эксплуатации прибора.

Целью изобретеппя является упрощение конструкции ирибора и процесса дефектоскопии покрытия.

Эта цель достигается благодаря тому, что прибор содержит сосуд с матированной внутренней поверхностью, заполненный жидкостью в которой номеихается нсслсдуемая деталь, например рез 1стор, п источник белого света. Материал сосуда и жидкость подобраны из условия совпадения нх показателей преломления при каждом значеннн температуры в определенном интервале, например в рабочем температурном диапазоне резистора, для единственной длины волны спектра белого света, однозначно изменяющейся с темнературой.

Па фиг. 1 схематически изображен сосуд с жидкостью и погурженный в него резнстор; на фиг. 2-предлагаемый прибор для контроля качества металлнческого покрытия резнстора.

Прибор содержит сосуд / с матпрованной внутренней новерхностью 2, заполненный жидкостью, в которую номепк резистор 3, токоподводящ1 е контакты 4, источник питания 5, источник света 6, экран 7, шаговый двнгатель 8.

дом значении температуры в рабочем температурном интервале резистора (рабочий температурлый интервал резистора определяется рассеиваемой на нем мощностью) их показатели преломления совпадали для единственной длины волны спектра белого света, однозначно изменяющейся с температурой.

iB качестве жидкости может быть использована органическая, либо неорганическая прозрачная для белого света жидкость, характеризуемая высокими изоляционными свойствами.

Материалом для сосуда 1 может служить органическое стекло, полимерный материал и т. д.

Деталь, качество поверхностного проводящего покрытия которой контролируется, например резистор 3, нагревается протекающим по покрытию током при подключении источника э.д. с. 5 и нагревает тонкий слой жидкости. Картина температурного поля жидкости практически повторяет картину температурного поля резистора.

На резистор сквозь сосуд 1 падает под некоторым углом каллинеарный пучок белого света от источника 6. Этот свет отражается от поверхности резистора и падает на экран 7 узкой полосой.

На экран падает не весь белый свет, а лишь свет длины волны, для которой показатели преломления материала сосуда и жидкости совпадают для данной точки резистора. При этом длина волны беспрепятственно проходящего света однозначно определяется температурой резистора в соответствующей точке. Остальная часть спекрта белого света рассеивается матированной поверхностью сосуда и на экран не попадает. В результате освещенная полоса на экране оказывается окрашенной в различных точках в различные цвета в соответствии с температурным полем резистора. Сравнивая распределение цвета на экране 7 с цветным изображением, соответствующим годному резистору, можно легко обнаружить дефекты металлического покрытия резистора.

Для последовательного контроля всей покрытой металлом поверхности резистора прибор снабжен механическим устройством, обеспечивающим поворот сосуда с резистором вокруг их оси, например шаговым искателем. Возможен вариант, при котором сосуд с резистором неподвижны, а источник света и экран

вращаются.

В случае контроля качества поверхности деталей с малой кривизной поверхности, например пленочных микросхем, механические устройства не используют. Освещая сразу всю

поверхность плоской детали, получают на экране 7 цветное изображение ее теплового поля. Предлагаемое устройство проще и надежней известных аналогичного назначения. Оно не содержит ни модулятора, ни электронной схемы, ни сложной системы сканирования. Времени для контроля одного резистора затрачивается меньще.

Предмет изобретения

Прибор для контроля качества металлических и полупроводниковых покрытий, содержащий устройство для визуализации теплового поля и механическую систему сканирования,

отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции прибора « процесса дефектоскопии покрытия, он содержит сосуд с матированной внутренней поверхностью, заполненный жидкостью, для размещения контролируемой

детали, например резистора, и источник белого света, а материал сосуда и жидкость подобраны из условия совпадения их показателей преломления при каждом значении температуры в определенном интервале, например

в рабочем температурном диапазоне резистора, для единственной длины волны спектра белого света, однозначно изменяющейся с температурой.