ЕИБЛ-ИОТЕКАПРИБОР для Советский патент 1971 года по МПК G01B7/04 

Изобретение относится к контрольно-нспытательной технике.

Известны приборы для контроля качества нроводящих и полунроводниковых нокрыти, содержащие источник белого света и экран, между которыми расиоложен сосуд с матовой внутренней поверхностью, занолненный жидкостью, в которой помещена нагреваемая электрическим током контролируемая деталь, причем коэффициенты преломления для определенной длины волны спектра света жидкости и материала сосуда в диапазоне )атур совпадают. Однако конструкция этих приборов сложная, а производительность копгроля низкая, из-за наличия механического сканирующего устройства типа шагового искателя.

Предложенный прибор для коитроля качества проводящих и полупроводниковых покрытий отличается от известных тем, что. с пслыо упрощения конструкции прибора п noBbimeiiii;i нроизводительноети контроля, он снабжен двумя конусообразными зеркалами, наружным отражающим и внутренним полупрозрачным, окружающи.ми сосуд с деталью, осп симметрии которых совмещены с осью сосуда, а геометричеекие верщины обращены к противоположным торцам сосуда.

Прибор содержит источник 1 белого света и экран 2, между которыми располои ен сосуд 3 с жидкостью, в которой помещена контролиpye aя деталь 4, нагреваемая электрическим

током от источника 5. Сосуд о окружен двумя конусообразными зеркалами, нарулсным 6 отражающим и внутренним 7 полупрозрачным. Оси симметрии зеркал 6, 7 и сосуда .J совпадают, а геометр -1ческие верщины этих

обращены к противоположным торцам сос)да. Прпбор работает следующим образом. Коллинеарпый кольцево поток света от источника / падает на отражающее наружное зеркало 6, которое поворачивает его на 90° и в

виде равномерного потока белого света, сходяп егося на осн сосуда 3, направляет его па деталь 4, нагреваемую электрическпм током от источника 5, через внутреннее полупрозрачное зе1)кало 7.

20

Отраженный от детали поток света, спектральный состав которого по длпне детали определяетея градиентами теилового поля ее поверхности, надает на полупрозрачное зеркало 7 и, отражаясь от него, меняя )аправленпе на 90°, надает на экран 2 в виде цветного кольцевого изображения, по которому визуально определяетея тепловое иоле контролируемо детали, содержащее информацию о качеетве се покрытия.

Г р с д .м от II 3 о б р с т синя

Прибор для контроля качеств;- ирслюдящмх и полупроводниковых покрытий, содержащий iicTOMiiiiiv белого света и экран, между которыми расположен сосуд с матовоГ вл /треннсГ1 поверхностью заполненный жидкостью, в котоpoii номенлена контроли|)уемая дета.чь, причем коэффн1,нент1,( преломления для онределеннон длин1)1 воли1,1 снектпа. света жпдкостц и материала сосуда в диапазоне темаерату;) совпадают, отличающийся тем, что, с целью упрои енин конструкцин прибора и повьииення производительности контроля, он снабжен ДВУМЯ конусообразными зеркалами, наружным отражающим н внутренним нолупрозрачным, окру;-ь;аю1цими сосуд с деталью, оси сштметрнн которых совмещены с осью сосуда, а геометрические верп1ины обраидены к ироти1юио,ожнылг торк,ам сосуда.

ГГН Щ

- «г J }

.,1 fi

Л

,чза- и Е - вагв;г к йгазмщ