ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ Советский патент 1972 года по МПК C25D17/10 

Изобретение от носится ж области электрохи,мичаокой o6ipa6oTiKH деталей.

Известен для эле.кгр10Х1Имичеокой Обработки, имеющий ,офилир|0 ва1нную ю.снову.

Од.на.КО, из(вестный электрод не позволяет получать изображбние нутем Избирательиоло .о.кИ:Сле(Ния, травления (материалов в электролите.

Целью изобретения является .обеспечение 0|Д1НЮ1В1раме1Бной не|ра1шю.мер,ной Обр.аботки но|Верх-ноСТ|И заготовки и повышание резкости перехюдов на праницах неравномерио обрабатываемых участков.

Эта щель достигается тем, что на оюнове расположаны участ1ки, состоящие из одного или нескольких материалов, с заданными удельными соиротивланиями и контуралш, повторяющими контуры участков задаиного изюбражейия.

На фИг. 1 -16 показаны различные конструкции электродов.

Элекцрод может быть вьинолнен: из основы и ра.ополож,епных на ней участков / пленок (Металлов ic различньш удельнььм сопротивлением (см. фиг. 1); из проводящей основы и расположенных на ней участков /. Основа выполнена с двумя аквозными опверстиялш 2 (сМ. фиг. 2); из основы, выполненной из диэлектрика 3 и Проводящего материала 4. На

послед;не1м раополоисены участки / (см. фи1Г. 3); из основы, выполненной из диэлектрика 3 и пр0 водящего (Материала 4. Последний вьиполнен из высокоомного .материала и

И1меет отверстие 2 (см. фиг. 4); из .диэлектрической 01сн.овы 3 и ра.снолол еН|Ных на ней участков 1 и диэлектриков 5 (см. . 5); из диэлектрической освовы 3 и расположенных на .ней участков / и диэлектряков 5, причем

прово.дящий слой ИМеет отверстие 2 (см. фиг. 6).

На ф;иг. 7 токазан электрод, 1ВЫ|ПОЛ;нанный из одного материала, по с разлИчной толщиной участков; на фиг. 8 - то же, но со сквозным отверстием 2.

Электрод может быть вынол.нен: из основы, вьиполнен.ной из диэлектрика 3 и металла 6. На по,сле.днем расположены участки 7 материала с одинаковым удельным сопротивлением и разной толщиной (см. фиг. 9); из основы, выно.лнеп1ной из диэлектрика 3 и .металла 6. На последнем располол ;епы участки 7. О.онова и участки 7 и-.меют сквозное отверстие 2 (см. фпг. 10); из проводящей основы и ipacположенных на ней участков 7 (см. фиг. 11); из .Проводящей основы и расположеашых на ней участков 7, Приче.м основа 1И участки имеют сквозное отверстие 2 (см. фиг. 12); из слоеной проводящей основы с различным

на ней участков У (см. фиг. 13); из слОбНой основы, вьшолненнюй из диэлектрика 3 и 1п1р01войЯ|Щбго материала 4 и раоположвнных на -поюледнем участков 1. Основа и учасши имеют сквозное тшерстие 2 .(с-м. ФЕГ. 14); из слоеиой проводящей осиовы с различным удельныл сотротивленйам и расположенных на ней уча|Сгко1В / (iCM. фиг. 15); из слоелой проводящей ооювы .с различным удельны.м сотротивлелием И ра.слоложе нных на ней уча1стко;в /, юричем ocHOiBa и участки имеют два .сквозных отверстия 2 (см. ф,и,г. 16).

Пример 1. Электрод состоит из алюминиевой основы, 1на которую нанесены терм1ическиМ испарением ;в BaiKiyyMe уча1СТ1КИ пленок СИ т ал л а о.пределен.ной толщины и жонфи-гурации и реа1кти1вны1М .раюпылением-участчки плено,к нитрида тантала.

При-мер 2. Электрод состоит .и,з ситаллоВ:ой оюновы, на которую нанесена термическим испарен и е.м сплош.ная |Нле|Нка алюминия

толщиной 6500 А тантала и окислена на раз ную глубину в разных мастах.

При1мер 3. Электрод изтО|Товлен из вольфрама определенной формы и разной толщины в направлении силовых линий электр Ичеокото ПОЛЯ. Эле1ктрод спрессован из увЛ1ажнанного вольфрамового порошка на гидравлических прессах в стальных разъемных п;ре1ссфор.мах при давлениях до 4-6 TJCM и опечен в водородНОЙ среде ,при iKoicBeHiHOiM налраве и ор.ямом накале его. Со стороны, противоположной рабочей п10|Верхности, вольфрамовый электрод таокрыт химически осажденной никелевой пленкой. Б электроде имеется одно отверстие заданной формы.

гПример 4. изготовлен из сте1КЛЯ1ННОЙ (Пластины, на которую нанесены:

а) (оплошная плевка алю.миния толщиной

8000 А; б) большие участки пленок из тантала и .никеля; в) на пленки из тантала и никеля нанесены участки пленок нитрида тантала, люноожиси гер1ма1ния и пятиокиси тантала определенной толщины и формы. Пленки металлов нанесены термическим нопарением и катодным распылением без iMiacoK и через маски.

Пример 5. Электрод состоит из алю.миНиевой пластины, на которую нанесена распылением пленка нитрида тантала. С ою,мощью фотолитографии на пленке нитрида TaHTavia получен нужный рисунок.

Предмет изобретения

Электрод для элактрохимич1еской Обработки, имеющий непрофилированную основу, отличающийся тем, что, с целью обеспечения одно1В1реман1ной неравномерной обработк и поверх.ности заготовки и повышения резко сти перех1одов на 1праницах неравномерно o6ipaбатываемых участков, на основе расположены участки, сО|Стоящие из одного -или нескольких материалов с заданным удельным сопротиюланием и контура1ми, повторяющ.ими контуры участков з аданного 1иэображения.

2

IL