УСТРОЙСТВО для ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПИТАНИЯ УСТАНОВОК ВОДОРОДНОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ Советский патент 1972 года по МПК H01L21/00 

Изобретение относится к области производства полупроводниковых материалов.

В известных устройствах для электрического питания и управления установок водородного восстановления кремния, работающих на переменном токе, содержащих трансформаторы, тиристоры, дроссели насыщения, контакторы и регулирующую аппаратуру, нагревательные элементы разбиты на три группы, питание и регулирование которых осуществляется независимо. При этом независимое (по фазе) регулирование приводит к неравномерной скорости осаждения конечного продукта на нагревательных элементах и перекосам токов по фазам.

Предлагаемое устройство, с целью расщирения диапазона регулирования напряжения и тока на нагревательных элементах при равномерной токовой загрузке фаз, максимальном коэффициенте мощности и минимуме коммутирующей аппаратуры, содержит выпрямительные мосты, соединенные между собой и 1агревательными элементами последовательно через контакторы для ступенчатого регулирования напряжения, выходы выпрямительных МОСТОВ через устройство управления соединены со схемой сравнения, выходы которой соединены с цепями отрицательной обратной связи по току и напряжению для плавного регулирования напряжения.

На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства.

На схеме приняты следующие обозначения: выпрямительные мосты 1, 2, 3; нагревательные элементы 4, 5, 6; реактор 7, измеритель 8 температуры; регулятор 9; цепь 10 отрицательной обратной связи по току; цепь // отр цательной обратной связи по напряжению; схема 12 сравнения; устройство 13 управления; коммутирующие элементы 14, 15, 16. 17, 18.

Устройство работает следующим образом. После предварительного разогрева кремниевых стержней-нагревателей включаются

коммутирующие элементы 14, 15, 17 и на стержни подается напряжение, равное сумме напряжений трех мостов. Сигнал, пропорциональный температуре поверхности стержней, через регулятор 9 подается в схему 12 сравнения; туда же поступают сигналы отрицательной обратной связи по токуй напряжению от цепи 10 отрицательной обратной связи по току и от цепи 11 отрицательной обратной связи по напряжению соответственно. Разкость этих сигналов подается на вход устройства 13 управления.

поверхности стержней с помощью автоматического регулятора снижается напряжение.

После снижения напряжения до величины равной 2/3 первоначального значения, включается коммутирующий элемент 16 и отключаются коммутирующие элементы 14, 15. Процесс продолжается при работе двух выпрямительных мостов.

После снижения напряжения до величины, равной 1/3 первоначальной величины, включается коммутирующий элемент 18 и отключаются элементы 16, 17. При этом в работе остается один выпрямительный мост. Далее процесс продолжается при регулировании напряжения на нагревателях до достижения необходимого диаметра стержней.

Описываемое устройство позволит получать кремниевые стержни диаметром в 2 раза больше, чем получа ют на известных установках-.

Предмет изобретения

Устройство для электрического питания установок водородного восстановления, содержащее реактор с нагревательными элементами, и последовательно соединенные регистрирующий прибор, регулятор температуры, схему сравнения, цепи отрицательной обратной связи по току и напряжению, отличающееся

тем, что, с целью расширения диапазона регулирования напряжения и тока на нагревательных элементах, оно содержит выпрямительные мосты, соединенные между собой и нагревательными элементами последовательно черел

контакторы для ступенчатого регулирования напряжения, выходы выпрямительных мостов через устройство управления соединены со схемой сравнения, выходы которой соединены с цепями отрицательной обратной связи по

току и напряжению для плавного регулирования напряжения.