СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЙ Советский патент 1972 года по МПК G03B15/00 

Изобретение относится к технологии производства элементов радиоаппаратуры и может быть использовано при изготовлении интегральных схем и полупроводниковых приборов.

Известны способы получения изображений, включающие операцию формирования изображений и размножения их по заданной плоскости с иомощыо репродукционных устройств.

Недостатки известных способов получения изображений состоят в необходимости изготовления оригинала, невозможности размножения изображений по полю за одну экснозицию без операции мультиплицирования и использовании сложных репродукционных объектов, не обеспечивающих высокое качество изображений из-за аберраций и ограниченной апертуры.

С целью исключения операции изготовления оригинала, размножения изображений по нолю за одну экспозицию, исключения применения сложных репродукционных объективов по предлагаемому способу излучение когерентного источника света разделяют на несколько пучков, строят систему точечных источников света, расположенных эквидистантными рядами, пересекающимися под заданным углом, а затем все пучки сводят в плоскость изображений, при этом регулируют интенсивность лучей в длину оптического хода.

На фиг. 1 дано устройство, реализующее предлагаемый способ получения изображений; на фиг. 2 - спектр разложения, состоящий из девяти гармоник и синтезированная этими

гармониками кривая.

Луч / когерентного источника света 2 с помощью разделительных зеркал 3, 5....5 и положительных линз 4, 4...4 разделяют на несколько пучков и строят систему точечных источников света, расположенных эквидистантными рядами, пересекающимися под заданным углом. Система точечных источников света формируется в отверстиях 5, 5...5 диафрагмы 6. Световые пучки, исходящие из построенных точечных источников света, сводят в плоскость изображения, в которой для контроля ориентации интерференционных полос помещают стеклянную пластину 7 с координатной сеткой. Интенсивность лучей регулируется при

помощи поляризаторов 8, 8...8 вращающихся в своей плоскости и изменяющих тем самым яркость лучей. Изменение оптического пути одного луча каждой пары источников, создающих отдельную гармонику, осуществляется

устройствами 9, 9...9 представляющими собой пары стеклянных клиньев, двигающихся поступательно друг относительно друга.

мости его фиксации, в плоскость координатной сетки помещают светочувствительный слой 11 и экспонируют.

Совокупность изображений, которую необходимо построить, представляет собой сложную пространственную периодическую функцию интенсивности света от координат. Эту функцию можно синтезировать путем суммирования спектра простых гармонических функций тех же аргументов, набор которых может быть получен из гармонического анализа формируемого изображения. Разложение функции пространственного распределения интенсивности можно представить в виде

л т

Zf / v v - Ль V - У f(X, г) 2j е ,

где Z - интенсивность лучей, X и Y - координаты плоскости, в которой строится изображение, k 41 V - порядковый номер гармоник по обеим координатам, п и fn - числа гармоник, определяемые точностью воспроизводимого изображения, а,, -коэффициенты, определяющие амплитуды гармоник, г |/-1. Этот анализ легко выполнить, так как изображения представляют собой набор простейших геометрических фигур типа линий, прямоугольников и квадратов, расположенных в прямоугольной системе координат. Каждая из гармоник формируется методом интерференции двух когерентных источников света, параметры которых определяются из гармонического анализа формируемого изображения, при этом контролируют период, яркость и положение произвольной полосы каждой гармоники относительно заданной системы координат плоскости интерференции. Период составляющих изображение гармоник определяется углом между лучами точечных источников когерентного света. Соотношение яркости источников света определяет конфигурацию изображений и устанавливается фотометрированием. Интерференционные полосы относительно системы координат сдвигаются при помощи измерения фазы гармоники и изменения длины оптического хода в одном из пучков света каждой интерферирующей пары.

Если амплитуда, фаза и период гармоник соответствуют требованиям, определенным при гармоническом анализе совокупности изображений, то в плоскости создается изображение, размноженное по всей площади, охватываемой интерференцией.

Предмет изобретения

1.Способ получения изображений, включающий операцию формирования изображений, размножение их по заданной плоскости, отличающийся тем, что, с целью исключения операции изготовления оригинала, размножения изображений по полю за одну экспозицию, исключения применения сложных репродукционных объективов, излучение когерентного источника света разделяют на несколько пучков,

строят систему точечных источников света, расположенных эквидистантными рядами, пересекающимися под заданным углом, а затем все пучки сводят в плоскость изображений.

2.С пособ получения изображений по п. 1, отличающийся тем, что регулируют интенсивность лучей и длину оптического хода.

/, 3, 5/, 7/, a/, 1H, 7J/, 75yj