УСТРОЙСТВО для АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК Советский патент 1972 года по МПК C23C14/54 

Изобретение относится к области пленочной микроэлектроники и может быть применено при создании многослойн1ых интерференционных систем, например фильтров, спектроделителей.

Известно устройство для автоматического управления процессом напыления тонких пленок в вакууме, включающее источник оптического излучения, средство монохроматизации, фотоэлектрический приемник, дифференцирующий блок, усилитель и исполнительный орган. Однако с его помощью можно изготавливать только один тип диэлектрических покрытий - узкополосые фильтры; кроме того, оно содержит довольно сложную оптико-механическую систему, обеспечить падежную работу которой в условиях производства трудно, что отрицательно сказывается на точности получения пленок заданной толщины.

Для повышения точности получения пленок заданной толщины описываемое устройство содержит делитель числа перемен фазы выходного сигнала усилителя, имеющий регулируемый коэффициент деления и состоящий из задатчика и счетчика числа импульсов и схемы совпадения, соединенной с исполнительным органом, причем усилитель выполнен избирательным с фазочувствительным релейным выходом, а дифференцирующий блок - импульсным с импульсами, следующими на резопансной частоте избирательного усилителя.

На фиг. 1 представлена структурная схема устройства; на фиг. 2 - структурная схема делителя числа перемен фазы выходного сигнала усилителя.

Устройство состоит из источника оптического излучения }, средства монохроматизации 2, фотоэлектрического приемника 3, дифференцирующего блока 4, усилителя 5, исполнительного органа 6, делителя 7 числа перемен фазы выходного сигнала усилителя, содержащего счетчик 8 и задатчик 9 числа импульсов и схему совпадения 10.

Устройство работает следующим образом. Лучистый поток от источника излучения /, пройдя через образец И, на который в вакуумной камере 12 напыляется с испарителей 13 изготавливаемая пленка, направляется в средство монохроматизации 2, выделяющее лучистый поток с длиной волны Л, на которой производится контроль. Поток вызывает на фотоприемнике 3 сигнал, пропорциональный пропусканию образца //. По мере роста толщины пленки в процессе напылепия сигнал меняется, достигая экстремальных значений