СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ В ГАЗОРАЗРЯДНОМ ПРИБОРЕ Советский патент 1973 года по МПК H01J41/02 G01L21/30 

1

Изобретение относится к области изготовления электровакуумных приборов, в частности к измерению давления в отпаянных приборах без нарушения их геометрии и- без дополнительных датчиков давления.

Известный способ измерения давления газов в отпаянных электровакуумных приборах путем подачи н.апряжения на электроды и измерения ионного тока при заданной величине электронного то,ка не позволяет производить измерения в области ниакого ва куума.

По предлагаемому способу расширение измеряемых давлений в области низкого вакуума достигается тем, что на электроды прибора подают импульсное напряжение с ампли.тудой, нреВЫша1Юш:ей статическое напряжение зажигания разряда, и длительностью не менее времени деионизации плазмы и измеряют время существования низковольтного разряда, пропорциональное измеряемому давлению.

Предлагаемый способ осуш,ествляется подключением электродов прибора к источнику импульсного напряжения прямоугольной формы через соединенные параллельно емкость и сопротивление, величины которых соответственно составляют десятки килоом и сотни ни.кофарад. В 1первый момент действия импульса напряжения бМ|Кость шунтирует .сопротивление; поэтому ;К газоразрядному промел утку прикладывается почти полная амплитлда импульса и между электродами возбуждается плазма с концентрацией заряженных частиц зар./Cvii. После пробоя разрядного промеж}тка в течение десятых долей ми.кросекунды емкость заряжается, и все нанряЛСение внешнего источника выделяется на сопротивлении, так как внутреннее сопротивление газоразрядного промежутка не превышает десятков ом. Напряжение между электродами

снижается ночти до нуля, ионизация прекращается и наблюдается деионизация или распад плазмы. Последующее уменьшение концентрации зарядов не приводит к увеличению падения напряжения на газоразрядном промежутке, так как проводимость плазмы остается выше проводимости внешней цепи. По мере дальнейшего распада плазмы убыль зарядов нриводит к росту внутреннего сопротивления газоразрядного промежутка. Указанное снижение сопротивления после пробоя и повышение его после деионизации фиксируют по падению напряжения при известных амплитуде импульса и величипе внешнего сопроти-влеиия с помощью, например осциллографа.

Для обеспечения стабильных условий за жигания разряда амплитуда импульса должна быть выше статического напрял-сения зажигания разряда при длительности и.мпульса не менее времени денонизации или расиада

плазмы. Частота следования импульсов определяется свойствами устройств, регистрирующих время распада, плазмы. При использовании запоминающих устройств или при фотограф(И|рова1Нии для проведеии.я из,мерепий достаточно одного импульса.

Окончание распада плазмы свидетельствует о прекращении низковольтной стадии разряда. Соответствующая описанным выше процессам экспериментальная осциллогра1МЛ1а напряжения на газоразрядном про-межутке устанавливает пропорциональную зависимость длительности, н-изковольтной стадии разряда от измеряемого давления.

На чертеже представлен.а иллюстрирующая предлагаемый способ экспериментальная зависимость времени существования низковольтной стадии разряда т от давления ксенона в тиратроне Т /,.

Измеряя с по,мОЩью осциллографа длительность стадии деионизации плазмы, по градуировочным Кривым определяют давление газа в эле ктрова;куумном приборе.

Предлагаемый способ расщиряет диапазон измеряемых давлений в области низкого вакуума и повышает точность и быстродействие измерений.

Предмет изобретения

Способ иэмераняя давления в газоразрядHOiM при,боре путем подачй на его электроды напряжения, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых давлений в области низкого вакуума, на электроды подают импульсное напряжение с амплитудой, превышающей стаоическое напряжение зажигания разряда, я длительностью не медее времени деионизации плазмы и измеряют время существования низковольтного разряда, пропорциональное измеряемому давлению.

0,3 Р, тар